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J-GLOBAL ID：202002248642615047   整理番号：20A2450439

シリコンウエハの表面特性を改善するためのファジィTaguchi法を用いたawjプロセスの最適化【JST・京大機械翻訳】

Optimization of awj process using fuzzy taguchi method for improving surface characteristics of silicon wafer

著者 (2件)： Oliver Nesa Raj S (Department of Mechanical Engineering, SRM Institute of Science and Technology, Kattankulathur, Chennai, India) ,  Prabhu S (Department of Mechanical Engineering, SRM Institute of Science and Technology, Kattankulathur, Chennai, India)
資料名： IOP Conference Series: Materials Science and Engineering  (IOP Conference Series: Materials Science and Engineering)
巻： 912  号： 3  ページ： 032001 (13pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5559A  ISSN： 1757-8981  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,研磨水ジェット加工プロセスの操作パラメータを最適化することにより,シリコンウエハのスライシング能力と表面特性を調べた。サイズ80メッシュのアブレシブ粒子を用いて,AWJMの単結晶純シリコンインゴット上で行った。AWJ操作パラメータを最適化するために,L9Taguchi直交配列を用い,表面粗さ,トポグラフィー,およびスライシング速度のような表面特徴を,SOD,水ジェット圧力,およびアブレシブの流量のような異なる入力パラメータを用いて比較した。ANOVA解析によるシリコンウエハの表面仕上げに影響を及ぼす重要なスライシングパラメータを知るために,スライシングプロセスの経験的モデルを回帰モデルを用いて発見して,Mamdaniファジィ規則と三角形メンバーシップ関数による研磨水ジェット加工プロセスパラメータを予測するために使用する更なるファジー論理解析を用いた。SEM分析を,純Siウエハ上に機械加工した異なるメッシュサイズの表面形態によって描いた。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 研磨 ,  *最適化 ,  単結晶 ,  分散分析 ,  流量 ,  直交配列 ,  機械工作 ,  回帰モデル ,  メンバシップ関数 ,  プロセスパラメータ ,  ファジィ論理 ,  表面仕上
準シソーラス用語： 表面形態 ,  *シリコンウエハ ,  スライシング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 研削  (QC03000R) ,  旋削,中ぐり  (QC02020G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコンウエハ ,  表面特性 ,  ファジィ ,  プロセス ,  最適化