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J-GLOBAL ID：202002249284856036   整理番号：20A1884275

MEMSに適用するPr-Fe-BとNd-Fe-B厚膜磁石の特性比較

Comparison of properties between Pr-Fe-B and Nd-Fe-B thick-film magnets applied to MEMS
著者 (8件)：
Nakano Masaki

Nakano Masaki について

(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan)

Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan について

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Takeichi Sho

Takeichi Sho について

(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan)

Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan について

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Yamaguchi Takashi

Yamaguchi Takashi について

(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan)

Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan について

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Takashima Keisuke

Takashima Keisuke について

(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan)

Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan について

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Yamashita Akihiro

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(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan)

Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan について

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Yanai Takeshi

Yanai Takeshi について

(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan)

Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan について

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Shinshi Tadahiko

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(Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan)

Interdisciplinary Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology, 4259 Nagatsuta-cho Midori-ku, Yokohama 226-8503, Japan について

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Fukunaga Hirotoshi

Fukunaga Hirotoshi について

(Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan)

Graduate School of Engineering, Nagasaki University, 1-14 Bunkyo-machi, Nagasaki 852-8521, Japan について


資料名：
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

Japanese Journal of Applied Physics について


巻： 59  号： SE  ページ： SEEE01 (5pp)  発行年： 2020年04月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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MEMSに適用するR(NdまたはPr)-Fe-B厚膜磁石の可能性を調べた。最初に,Si基板上のSi酸化物層の厚さの増加は,Si基板とNd-Fe-B膜の間の接着力を増加させることができた。次に,Si基板上にガラスバッファ層を堆積後,厚いSi酸化物層を得るために,Pr-Fe-BとNd-Fe-B膜の機械的性質と磁気特性を比較した。ガラスバッファ層の厚さが増加するにつれ,Pr-Fe-B膜の厚さは機械的破壊なしに強化できた。Nd-Fe-B膜では,100μmの厚さを超えるのが困難であった。さらに,127μmの厚さのPr-Fe-B膜の(BH)max値は,92μmの厚さのNd-Fe-B膜より約30kJ/m3高かった。得られた結果は,Pr-Fe-B厚膜磁石がMEMS応用に適していることを示唆した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.
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