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J-GLOBAL ID：202002254395456421   整理番号：20A1306304

マイクロ波放電式プラズマ源による高真空下除電

Electrostatic Charge Neutralization in Vacuum Environment using an Electron Cyclotron Resonance Plasma Source

著者 (7件)： 森下貴都 (東大 大学院工学系研究科) ,  神田大樹 (宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研) ,  細田聡史 (宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研) ,  最上智史 (春日電機) ,  峯村和樹 (春日電機) ,  野村信雄 (春日電機) ,  國中均 (宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研)
資料名： 静電気学会誌  (Journal of the Institute of Electrostatics Japan)
巻： 44  号： 3  ページ： 128-134  発行年： 2020年05月31日 
JST資料番号： S0175A  ISSN： 0386-2550  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電荷蓄積は真空製造プロセス中に故障を引き起こす可能性がある。真空環境での除電には,Passenの法則に従って間欠的な受動放電を生成するための圧力の周期的変化がしばしば用いられる。しかし,生産効率を高めるにはまだ不十分である。本研究の目的は,JAXA(宇宙航空研究開発機構)によって開発された電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ源を用いて真空環境(10-10^-4Pa)における除電速度を増加させ,スラスタからの宇宙船放出イオンの電荷を除電することである。200Vの初期電圧で1.7μFの静電容量をもつ50mm×50mmのプレートの除電を調べた。そこでは,プレートはECR除電装置から30cm離れて配置されている。初期電圧の37%に達するのに必要な時間は正電荷で0.1s,負電荷で27sであった。さらに,ECR除電装置の電子抽出電極の改良は,10Wの電力と0.1mg/gのキセノン流量で,以前のECR除電装置と比較して,5倍の高い除電電流をもたらした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロ波放電 ,  プラズマ源 ,  帯電 ,  *ECRプラズマ ,  真空 ,  装置 ,  イオン ,  キセノン ,  除去 ,  放電 ,  スラスタ ,  除電 ,  *宇宙機 ,  *プラズマ ,  *飛翔体
準シソーラス用語： *宇宙飛行体 ,  宇宙船 ,  電荷蓄積 ,  電子サイクロトロン共鳴プラズマ

分類 (2件)： 静電機器  (NB10020R) ,  ロケットエンジン  (PB02050J)

引用文献 (12件)：

• 宇宙航空研究開発機構:宇宙環境計測情報システム, http://sees.tksc.jaxa.jp.
• 文部科学省:環境観測技術衛星(ADEOS-II)みどりIIの運用異常に係る原因究明及び今後の対策について, http://www.mext.go.jp.
• 木脇久智,佐久間伸夫:除電器による災害対策.高分子学会誌,10[4](1961)384-388
• 菱沼宣是:プラズマの光源応用身近な明かりから次世代光源まで4.これからの光源 4.3 ランプの新用途(エキシマランプと用途).プラズマ・核融合学会誌,81[12](2005)1012-1015
• 峯村和樹,最上智史,野村信雄,池畑隆:高速バルブを用いたプラズマ放電式除電機の開発.静電気学会講演論文集(2018)71

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロ波放電 ,  プラズマ源 ,  高真空 ,  除電