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J-GLOBAL ID：202002255902691633   整理番号：20A2687210

共焦点顕微鏡と触針式測定機で測定した表面粗さの等価性評価

Equivalence evaluation of surface roughness measured with a confocal microscope and a stylus instrument

著者 (1件)： 中野雅晴 (静岡県工業技術研)
資料名： 静岡県工業技術研究所研究報告  (Reports of the Industrial Research Institute of Shizuoka Prefecture)
号： 13  ページ： 81-85  発行年： 2020年11月20日 
JST資料番号： G0604B  ISSN： 1883-2350  CODEN： SKGKBP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 共焦点顕微鏡で測定した表面粗さパラメーター(Ra,Rz,RdqおよびRSm)を,触針式測定機で測定したものと比較した。無方向性および非周期的表面粗さ試料を測定した。高さパラメータ(Ra,Rz)と水平パラメータ(RSm)は,計器に依存せずに同等であった。表面勾配を示すRdqは両計器で測定され,19°以下の時だけ対応していた。同時に大面積の測定ができる20倍対物レンズ(NA0.75)を用いた共焦点測定の精度も評価し,Raパラメータは,0.95の高い開口数(NA)を有する50倍対物レンズ用いて測定したものに等しい,ことを確認した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *表面粗さ ,  高さ ,  水平 ,  勾配 ,  パラメータ ,  吹付 ,  表面加工 ,  表面処理 ,  放電加工 ,  計測 ,  *非接触測定 ,  *共焦点顕微鏡 ,  比較 ,  *計測器 ,  *針 ,  *形状測定 ,  等価性 ,  評価 ,  対物レンズ ,  開口数 ,  サンプルの大きさ ,  面積
準シソーラス用語： グリットブラスト ,  ショットブラスト ,  *加工パラメータ ,  試料サイズ ,  *触針 ,  *触針式計測器 ,  非接触 ,  表面形状測定

分類 (3件)： その他の物理的・機械的性質  (WB02040F) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (6件)：

• 吉田一朗 : 表面粗さ-その測定法と規格に関して はじめての精密加工. 精密工学会誌,78(4),301-304 (2012).
• 佐藤敦:非接触による三次元表面性状の測定の現状-三次元規格の意義とものづくりへの活用-はじめての精密加工. 精密工学会誌, 81(10), 922-925(2015).
• 阿部勝行 : 特集 裾野が広がる共焦点顕微鏡 総論:共焦点顕微鏡の概要. O plus E, 31(6), pp.636-639 (2009).
• JIS B 0601 : 2013 製品の幾何特性仕様 (GPS) -表面性状 : 輪郭曲線方式-用語, 定義及び表面性状パラメータ. 財団法人 日本規格協会.
• 藤井章弘 他 : 特集 裾野が広がる共焦点顕微鏡 3D 測定レーザー顕微鏡OLS4000による3D 表面性状計測. O plus E, 31(6), pp.640-644 (2009).

タイトルに関連する用語 (6件)： 共焦点顕微鏡 ,  触針 ,  測定機 ,  表面粗さ ,  等価性 ,  評価