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J-GLOBAL ID：202002256437144328   整理番号：20A2052184

光のスピンHall効果に基づく偏光解析法の開発(第四報)

Development of Ellipsometry Based on Spin Hall Effect of Light (4^th report)-Analytical calculation of surface roughness measurement-

著者 (4件)： LI Zhehan (Osaka Univ.) ,  MIZUTANI Yasuhiro (Osaka Univ.) ,  UENOHARA Tsutomu (Osaka Univ.) ,  TAKAYA Yasuhiro (Osaka Univ.)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2020  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.D0206  発行年： 2020年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・ナノデバイスの表面粗さの測定方法に関して既存方法は機械的回転誤差などにより困難であり,光のスピンHall効果(SHEL)に基づく偏光解析法の開発を目的。
・光の表面反射前後の偏光状態変化によるSHELに基づく表面粗さ測定原理を説明。
・SHELのシフトは,表面粗さと関連し,SHELシフトの測定により,1次及び2次増幅定式から表面粗さが求まることを説明し,偏光子を用いた実験装置を製作し実証実験を実施。
・数値解析と実験によって,提案法によって表面粗さが直接的に測定可能なことを説明。

シソーラス用語： *Hall効果 ,  *偏光解析法 ,  固体素子 ,  *ナノ構造 ,  *表面粗さ ,  変位測定 ,  光反射 ,  He-Neレーザ ,  実験 ,  CCDカメラ ,  実験装置 ,  偏光子
準シソーラス用語： ナノデバイス ,  弱測定 ,  半波長板

分類 (3件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  偏光,複屈折,光学回転  (BD03040X) ,  光学情報処理  (BD03060T)

引用文献 (4件)：

• JR Blanco: Roughness measurements by spectroscopic ellipsometry, Applied Optics, 24 (1985) 3773.
• Y Mizutani: Surface roughness detection by spin Hall effect of light with sub-nanometer resolution, Journal of Physics: Conference Series, 1065 (2018) 142016.
• S Chen: Modified weak measurements for the detection of the photonic spin Hall effect, Physical Review A, 91 (2015) 062105.
• RW Collins: Advances in multichannel spectroscopic ellipsometry, Thin Solid Film, 313 (1998) 18.

タイトルに関連する用語 (3件)： スピンHall効果 ,  偏光解析法 ,  開発