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J-GLOBAL ID：202002259445902759   整理番号：20A2767965

LiDAR応用のための全方向走査におけるジンバルマイクロミラーの運動非線形性【JST・京大機械翻訳】

Motion nonlinearity of gimbaled micromirror in omnidirectional scanning for LiDAR application^*

著者 (3件)： Suzuki Katsuya (Tohoku University,Department of Finemechanics,Sendai,Japan,980-8579) ,  Sasaki Takashi (Tohoku University,Department of Finemechanics,Sendai,Japan,980-8579) ,  Hane Kazuhiro (Tohoku University,Department of Finemechanics,Sendai,Japan,980-8579)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： NEMS  ページ： 130-133  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 全方向LiDARのためのジンバル付きMEMSミラーは,しばしば強い非線形性を受ける。ミラーの運動方程式を解析的に導出した。運動非線形性を2軸上の運動間の相互作用から説明した。さらに,安定ミラー動作に対する構造条件を方程式から見出した。全方位走査の基本特性を調べるために,シリコンSOIマイクロマシニングにより,ジンバル付きマイクロミラーを作製し,試験した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 運動方程式 ,  相互作用 ,  *ケイ素 ,  非線形性 ,  二軸 ,  マイクロマシニング
準シソーラス用語： *マイクロミラー ,  *ジンバル ,  全方向 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 医用画像処理  (JE04020T) ,  NMR一般  (BM07041R) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： LIDAR ,  応用 ,  全方向 ,  走査 ,  運動 ,  非線形性