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J-GLOBAL ID：202002265360938973   整理番号：20A2741611

ナノスケール表面元素分析法XANAMの固体内原子への適用

著者 (1件)： 鈴木秀士 (名古屋大 大学院工学研究科)
資料名： 松籟科学技術振興財団研究報告集  (松らい科学技術振興財団研究報告集)
巻： 28  ページ： 58-63  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： L3314A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本研究では,絶縁体表面にも適用可能な非接触原子間力顕微鏡を土台に,元素分析法として既に確立した放射光X線元素分析を組み合わせ,X線支援非接触原子間力顕微鏡XANAMの開発を実施。
・これまで懸案であったXANAMの原理的側面および元素イメージングについて実験的,理論的成果を獲得。
・これまでのXANAMの測定で乱されていた共有結合力に由来するX線誘起の変化に対して,解釈の理論的裏付けを与えることが可能。
・またX線照射下でのフォーススペクトルの力成分解析を行う方法が確立。
・さらに,この方法を試料表面に2次元展開することで,X線による変化のプロファイルを3次元的に取得する方法論を確立。

シソーラス用語： *元素分析 ,  *原子間力顕微鏡 ,  X線 ,  共有結合 ,  シンクロトロン放射 ,  *X線照射 ,  画像処理 ,  内殻励起 ,  内殻電子
準シソーラス用語： イメージング ,  試料表面 ,  非接触型原子間力顕微鏡 ,  放射光

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  その他の物理分析  (CC03014E)

引用文献 (16件)：

• T. Matsushima, T. Okuda, T. Eguchi, M. Ono, A. Harasawa, T. Wakita, A. Kataoka, M. Hamada, A. Kamoshida, Y. Hasegawa, T. Kinoshita, Rev. Sci. Instrum. 75(6) (2004) 2149-2153.
• T. Okuda, T. Eguchi, T. Matsushima, M. Hamada, X.D. Ma, A. Kataoka, A. Harasawa, T. Kinoshita, Y. Hasewgawa, J. Electron. Spectrosc. Relat. Phenom. 144 (2005) 1157-1161.
• T. Eguchi, T. Okuda, T. Matsushima, A. Kataoka, A. Harasawa, K. Akiyama, T. Kinoshita, Y. Hasegawa, M. Kawamori, Y. Haruyama, S. Matsui, Appl. Phys. Lett. 89(24) (2006) 243119.
• A. Saito, J. Maruyama, K. Manabe, K. Kitamoto, K. Takahashi, K. Takami, S. Hirotsune, Y. Takagi, Y. Tanaka, D. Miwa, M. Yabashi, M. Ishii, M. AkaiKasaya, S. Shin, T. Ishikawa, Y. Kuwahara, M. Aono, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 45(3B) (2006) 1913-1916.
• A. Saito, Y. Takagi, K. Takahashi, H. Hosokawa, K. Hanai, T. Tanaka, M. Akai-Kasaya, Y. Tanaka, S. Shin, T. Ishikawa, Y. Kuwahara, M. Aono, Surf. Interface Anal. 40(6-7) (2008) 1033-1036.

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノスケール ,  元素分析 ,  固体 ,  原子