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J-GLOBAL ID：202002268852946986   整理番号：20A2236875

極短ギャップ純酸素放電における酸素原子とオゾンの同時密度計測

Simultaneous measurement of atomic oxygen and ozone densities under pure oxygen short-gapped discharge

著者 (4件)： 中川雄介 (首都大 院) ,  川北拓弥 (首都大 院) ,  内田諭 (首都大 院) ,  杤久保文嘉 (首都大 院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.12p-A302-5  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.はじめに. 大気圧プラズマを用いた酸化処理は、環境浄化や表面改質等、様々な分野での応用が期待されている。大気圧プラズマによる酸化処理では、基底酸素原子O(3P)とオゾンO3が重要な役割を担う[1,2]が、これらの生成に有利な純酸素放電に...【本文一部表示】

シソーラス用語： 干渉 ,  蛍光 ,  プラズマ ,  *放電 ,  キセノン ,  *オゾン ,  波長 ,  レーザビーム ,  近似法 ,  パルス ,  大気プラズマ ,  同時計測 ,  レーザ誘起蛍光 ,  チャンバ ,  *酸素原子

分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (6件)： ギャップ ,  純酸素 ,  放電 ,  酸素原子 ,  オゾン ,  密度計測