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J-GLOBAL ID：202002269764475615   整理番号：20A2626418

計算機トモグラフィーイメージングに基づく絶縁ゲートバイポーラトランジスタの自動欠陥検出【JST・京大機械翻訳】

Automated defect detection of insulated gate bipolar transistor based on computed laminography imaging

著者 (14件)： Li Yan (Beijing Engineering Research Center of Radiographic Techniques and Equipment, Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Li Yan (School of Nuclear Science and Technology, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Liu Shuangquan (Beijing Engineering Research Center of Radiographic Techniques and Equipment, Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Liu Shuangquan (School of Nuclear Science and Technology, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Li Chunmiao (Beijing Engineering Research Center of Radiographic Techniques and Equipment, Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Li Chunmiao (School of Nuclear Science and Technology, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Zheng Yushuang (Beijing Engineering Research Center of Radiographic Techniques and Equipment, Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Zheng Yushuang (School of Nuclear Science and Technology, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Wei Cunfeng (Beijing Engineering Research Center of Radiographic Techniques and Equipment, Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Wei Cunfeng (School of Nuclear Science and Technology, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Liu Baodong (Beijing Engineering Research Center of Radiographic Techniques and Equipment, Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Liu Baodong (School of Nuclear Science and Technology, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Yang Yao (Beijing Engineering Research Center of Radiographic Techniques and Equipment, Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China) ,  Yang Yao (School of Nuclear Science and Technology, University of Chinese Academy of Sciences, Beijing, China)
資料名： Microelectronics Reliability  (Microelectronics Reliability)
巻： 115  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Void検査は絶縁ゲートバイポーラトランジスタにとって重要である。X線計算ラミノグラフィー(CL)は絶縁ゲートバイポーラトランジスタのような板状物体のイメージング法である。したがって,CL画像のボイドは,自動的に正確に同定されるべきである。本論文では,直接接着セラミックとベースプレートの間の溶接層におけるボイド検査の完全自動法を提案した。参照画像鮮鋭度評価を用いて,溶接層スライスを見つけ,それは,誤差が,よく訓練されたオペレータと比較して,1層以内であることを確認した。次に,セマンティックセグメンテーションネットワークDeeLabv3+を修正して,はんだ領域とボイドをセグメント化した。エッジと閾値に基づく従来のセグメンテーションアルゴリズムと比較して,はんだ領域をセグメント化するための提案方法は,調整パラメータがない。そのグローバル精度とクラス平均精度は96%以上である。さらに,ボイドのセグメンテーションに対して,提案アルゴリズムは,約数百倍の速度の改善を伴う領域成長アルゴリズムよりも高速であることが分かった。このアルゴリズムは,産業におけるIGBTの熱交換効率の客観的評価を可能にする。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アルゴリズム ,  接着 ,  セラミック ,  セグメンテーション ,  オペレータ ,  溶接 ,  鮮鋭度 ,  *故障検出 ,  *画像処理 ,  はんだ ,  *計算機トモグラフィー ,  *IGBT
準シソーラス用語： 参照画像 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： IGBT欠陥検出 ,  深層学習 ,  ボイドセグメンテーション ,  X線イメージング ,  コンピュータ断層撮影

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 計算機トモグラフィー ,  イメージング ,  絶縁ゲートバイポーラトランジスタ ,  欠陥検出