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J-GLOBAL ID：202002272074365518   整理番号：20A2778757

オンマシン工具切断エッジ測定のための低力スタイラスプローブの設計と製作【JST・京大機械翻訳】

Design and Construction of a Low-Force Stylus Probe for On-machine Tool Cutting Edge Measurement

著者 (6件)： Matsukuma Hiraku (Department of Finemechanics, Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan) ,  Wen Bo (Department of Finemechanics, Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan) ,  Osawa Shinichi (Department of Finemechanics, Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan) ,  Sekine Sho (Department of Finemechanics, Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan) ,  Shimizu Yuki (Department of Finemechanics, Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan) ,  Gao Wei (Department of Finemechanics, Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai, Japan)
資料名： Nanomanufacturing and Metrology  (Nanomanufacturing and Metrology)
巻： 3  号： 4  ページ： 282-291  発行年： 2020年 
JST資料番号： W4767A  ISSN： 2520-811X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： カンチレバービームを用いた新しいオンマシンプロファイラを提案し,低測定力0.1mNの精密切削工具の鋭いマイクロ切削エッジを測定するために開発した。提案したプロファイラはプローブユニットと位置決めユニットから成る。プローブユニットは,中空三角形片持梁の自由端に取り付けたスタイラスと,片持梁のたわみを検出するレーザ変位センサを用いた。位置決めユニットは,プローブユニットの正確な位置決めのための2つの単一軸DCサーボモータステージから成る。カンチレバーを有限要素法の支援で設計した。提案した測定システムの実現可能性を実証するために,実験を行い,マイクロ切削エッジの測定結果を市販のプロファイラによる結果と比較した。さらに,片持梁の横方向変位に起因する測定誤差を補償する方法を提案した。補償測定結果は,市販のプロファイラにより得られたものと±2μm以内で良好な一致を示した。Copyright International Society for Nanomanufacturing and Tianjin University and Springer Nature Singapore Pte Ltd. 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プローブ ,  有限要素法 ,  たわみ ,  *切削 ,  測定誤差 ,  片持梁 ,  位置決め ,  一軸 ,  計測システム
準シソーラス用語： 変位センサ ,  プロファイラ ,  マイクロ切削 ,  *触針 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： オンマシン測定 ,  表面プロファイラ ,  微小切削エッジ ,  低力測定 ,  カンチレバービーム

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 工具 ,  切断エッジ ,  力 ,  設計 ,  製作