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J-GLOBAL ID：202002273306396179   整理番号：20A2224590

消費者指向インクジェットプリンタを用いた新型Bi_2Sr_2CaCu_2O_8+xデバイスの試作【JST・京大機械翻訳】

Prototyping new type Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+x devices using a consumer-oriented inkjet printer

著者 (2件)： Yamada Y (Department of Innovative Electrical and Electronic Engineering, National Institute of Technology, Oyama College, 771 Nakakuki, Oyama, Tochigi 323-0806, Japan) ,  Okamoto T (Electrical, Electronics and Information Engineering, Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan)
資料名： Journal of Physics: Conference Series  (Journal of Physics: Conference Series)
巻： 1590  号： 1  ページ： 012046 (6pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5565A  ISSN： 1742-6588  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Bi_2Sr_2CaCu_2O_8+x(Bi2212)薄膜の微細加工を試みた。金属-有機分解法により薄膜を調製した。フォトレジストを消費者指向インクジェットプリンタを用いて薄膜上に印刷した。エタノールで3回希釈し,80%黒で印刷した黒カートリッジを充填すると,レジストの散乱とレジストがそうでない領域の両方を最小化することができた。クエン酸で薄膜をエッチングした後,フォトレジストをNaOHでストリッピングした。この報告の印刷とエッチング条件の下で,レジスト幅は所望の幅より約0.05mm広く,アンダーカット幅は約0.08mmであった。約75μmのブリッジを形成することに成功した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  薄膜 ,  *消費者 ,  フォトレジスト ,  希釈 ,  カートリッジ ,  レジスト ,  アンダカット ,  微細加工 ,  *インクジェットプリンタ ,  脂肪族アルコール ,  脂肪族カルボン酸 ,  ヒドロキシ酸 ,  ポリカルボン酸

分類 (2件)： 酸化物系超伝導体の物性  (BM04023I) ,  超伝導材料  (BM04041W)

物質索引 (2件)： エタノール ,  クエン酸

タイトルに関連する用語 (3件)： 消費者 ,  インクジェットプリンタ ,  試作