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J-GLOBAL ID：202002273497339479   整理番号：20A2381542

パルスレーザ蒸着により作製したイットリウムドープSrZrO₃薄膜の蒸着条件の最適化

Optimization of deposition conditions of yttrium doped-SrZrO₃ thin films fabricated by pulsed laser deposition

著者 (4件)： TANAKA Hiroki (Department of Innovative and Engineered Material, Tokyo Institute of Technology) ,  UCHIYAMA Kiyoshi (Department of Creative Engineering, National Institute of Technology, Tsuruoka College) ,  SHIMIZU Takao (Department of Innovative and Engineered Material, Tokyo Institute of Technology) ,  FUNAKUBO Hiroshi (Department of Innovative and Engineered Material, Tokyo Institute of Technology)
資料名： Journal of the Ceramic Society of Japan (Web)  (Journal of the Ceramic Society of Japan (Web))
巻： 128  号： 8  ページ： 436-440(J-STAGE)  発行年： 2020年 
JST資料番号： U0409A  ISSN： 1348-6535  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パルスレーザ蒸着(PLD)法により,イットリウム(Y)濃度が20at%(SZYO)のSrZrO₃薄膜を堆積することに成功した。PLDのレーザ出力は,同じPLDターゲットを使用しても,Y濃度に大きく影響した。反対に,レーザレプテーションの頻度と蒸着温度は組成に大きな影響を与えなかった。最適条件で堆積されたSZYO膜は十分に結晶化され,二次相を示さず,(111)Pt/SiO_x/Siおよび(111)Pd/(111)Pt/SiO_x/Si基板上にそれぞれ堆積したときに(111)および(110)配向を示した。このSZYO膜は,提案する新規固体酸化物燃料電池の電極としての使用が期待されている。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： パルスレーザ蒸着 ,  *イットリウム ,  ドーピング ,  ジルコニウム酸塩 ,  ストロンチウム化合物 ,  *薄膜 ,  *最適化 ,  レーザ出力 ,  濃度依存性 ,  薄膜成長 ,  結晶化 ,  第二相 ,  固体酸化物燃料電池 ,  電極材料 ,  プロトン伝導 ,  最適条件 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  *ジルコニウム酸ストロンチウム ,  プロセス最適化 ,  *改変
準シソーラス用語： 蒸着条件

著者キーワード (4件)： プロトン伝導 ,  ペロブスカイト酸化物 ,  薄膜 ,  燃料電池

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (24件)：

• 1) H. Iwahara, T. Esaka, H. Uchida and N. Maeda, Solid State Ionics, 3-4, 359-363 (1981).
• 2) H. Iwahara, T. Yajima, T. Hibino and H. Ushida, J. Electrochem. Soc., 140, 1687-1691 (1993).
• 3) T. Shimada, C. Wen, N. Taniguchi, J. Otomo and H. Takahashi, J. Power Sources, 131, 289-292 (2004).
• 4) N. Ito, M. Iijima, K. Kimura and S. Iguchi, J. Power Sources, 152, 200-203 (2005).
• 5) K. Uchiyama, Y. Isse, Y. Hori, T. Nishida, Y. Uraoka, T. Kariya and K. Yanagimoto, Proc. 6th Thin-Films Materials and Devices Meeting, Nov.2-3, Kyoto, Japan (2009) p. 100228102.

タイトルに関連する用語 (7件)： パルスレーザ蒸着 ,  作製 ,  イットリウム ,  ドープ ,  薄膜 ,  蒸着 ,  最適化