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J-GLOBAL ID:202002278594662154   整理番号:20A0844665

難加工研磨二おけるフラーレン結合型機能性ナノ微粒子に関する研究

Study on novel nano fine particles reacted with fullerene for hard to process material
著者 (7件):
資料名:
巻: 2020  号: 春季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.E102  発行年: 2020年03月01日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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本研究では粒径が数十nm~百nm程度の粒子径を持つダイヤモンドなどコア粒子上にフラーレン分子を吸着させ,紫外線照射のほかに,マイクロ波合成法を併用させることでフラーレンを新規炭素同素体へ物質変換を行い,研磨微粒子上に安定化した数nmレベルの機能性炭素層を形成する.ここでは形成された新規炭素同素体の分類を行うとともに難加工基板に対する研磨性能の影響について評価する.(著者抄録)
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