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J-GLOBAL ID:202002279207728073   整理番号:20A0635424

放電電力変調反応性プラズマにおけるナノ粒子成長の時空間構造の観測

Observation of Spatio-Temporal Structure of Growth of Nano-Particles in Reactive Plasmas with Discharge Power Modulation
著者 (8件):
資料名:
巻: 29th  ページ: 27pC09 (WEB ONLY)  発行年: 2012年 
JST資料番号: U1621A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)

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