Maeda Erika について
Shibaura Institute of Technology, 3-7-5 Toyosu, Koto-ku, Tokyo 135-8548, Japan について
Nabatame Toshihide について
National Institute for Materials Science (NIMS), 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan について
Hirose Masafumi について
Shibaura Institute of Technology, 3-7-5 Toyosu, Koto-ku, Tokyo 135-8548, Japan について
Inoue Mari について
National Institute for Materials Science (NIMS), 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan について
Ohi Akihiko について
National Institute for Materials Science (NIMS), 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan について
Ikeda Naoki について
National Institute for Materials Science (NIMS), 1-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-0044, Japan について
Kiyono Hajime について
Shibaura Institute of Technology, 3-7-5 Toyosu, Koto-ku, Tokyo 135-8548, Japan について
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
プラズマ について
酸化物 について
金属酸化物 について
電気陰性度 について
線形性 について
膜厚 について
前駆体 について
負電荷 について
下層 について
成長速度 について
下地層 について
酸素原子 について
プラズマガス について
一酸化ケイ素 について
酸化物薄膜 について
トリス(ジメチルアミノ)シラン について
シラン前駆体 について
プラズマ について
増強 について
原子層堆積 について
金属酸化物 について
下層 について
電気陰性度 について
成長速度 について
相関 について