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J-GLOBAL ID：202002285959204100   整理番号：20A0442123

局所熱測定用のナノスケール熱電対プローブの開発

Development of Nanoscale Thermocouple Probes for Local Thermal Measurements

著者 (8件)： Kakefuda Yohei (International Center for Materials Nanoarchitectonics, National Institute for Materials Science) ,  Kawamoto Naoyuki (International Center for Materials Nanoarchitectonics, National Institute for Materials Science) ,  Mitome Masanori (International Center for Materials Nanoarchitectonics, National Institute for Materials Science) ,  Yamada Isamu (Yamada R & D Support Enterprise) ,  Mori Takao (International Center for Materials Nanoarchitectonics, National Institute for Materials Science) ,  Mori Takao (Graduate School of Pure and Applied Sciences, University of Tsukuba) ,  Golberg Dmitri (International Center for Materials Nanoarchitectonics, National Institute for Materials Science) ,  Golberg Dmitri (School of Chemistry, Physics and Mechanical Engineering, Queensland University of Technology)
資料名： e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web)  (e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web))
巻： 17  ページ： 102-107(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： U0016A  ISSN： 1348-0391  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノスケール鮮鋭度を有するコンスタンタンとクロメルセグメントからなる熱電対プローブを開発した。これらの合金から作られたワイヤの端部を,H₃PO₄溶液中での一段階ドロップオフ電気化学的手順を用いて研磨した。エッチングしたワイヤの巨視的形状を設計し,熱電対を組み立てた後に高感度で超小型熱入力を検出した。電気化学処理後,究極的に滑らかな鏡面研磨ワイヤ表面が観察された。エッチングしたワイヤを透過型電子顕微鏡(TEM)で組み立てて,集束TEM電子ビーム照射により誘起された小温度の増加を検出することに成功した。高分解能TEM画像から判断して,直径わずか約5nmのチップ端をもつ熱電対が作製された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *熱電対 ,  局所性 ,  熱量測定 ,  *コンスタンタン ,  *ニッケル合金 ,  *クロム含有合金 ,  リン酸 ,  電解研磨 ,  エッチング ,  金属線 ,  固体素子 ,  鏡面仕上 ,  透過型電子顕微鏡 ,  電子ビーム ,  高分解能電子顕微鏡 ,  電極チップ ,  プローブ ,  熱分析
準シソーラス用語： TEM【顕微鏡】 ,  クロメル合金 ,  ナノスケール ,  マルチプローブ ,  金属ワイヤ ,  高分解能透過型電子顕微鏡 ,  超小型デバイス ,  熱測定

著者キーワード (5件)： 電気化学的方法 ,  マルチプローブ法 ,  透過型電子顕微鏡 ,  コンスタンタン ,  クロメル

分類 (2件)： 熱電デバイス  (NC03090J) ,  電気化学反応  (CB07050F)

引用文献 (12件)：

• [1] K. Unno, T. Shibata, and E. Makino, Sens. Actuators A Phys. 88, 247 (2001).
• [2] C. L. Petersen, T. M. Hansen, P. Bøggild, A. Boisen, O. Hansen, T. Hassenkam, and F. Grey, Sens. Actuators A Phys. 96, 53 (2002).
• [3] R. M. Stöckle, Y. D. Suh, V. Deckert, and R. Zenobi, Chem. Phys. Lett. 318, 131 (2000).
• [4] O. L. Guise, J. W. Ahner, M.-C. Jung, P. C. Goughnour, and J. T. Yates, Nano Lett. 2, 191 (2002).
• [5] Z. Q. Yu, C. M. Wang, Y. Du, S. Thevuthasan, and I. Lyubinetsky, Ultramicroscopy 108, 873 (2008).

タイトルに関連する用語 (5件)： 熱測定 ,  ナノスケール ,  熱電対 ,  プローブ ,  開発