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J-GLOBAL ID：202002287263192313   整理番号：20A0647622

表面活性化接合のための高速原子ビームガンの開発【JST・京大機械翻訳】

Development of a fast atom beam gun for surface-activated bonding

著者 (10件)： Morisaki Ryo (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Hirai Yuuki (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Oka Chiemi (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Mizoshiri Mizue (Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka Nagaoka, Niigata, 940-2188, Japan) ,  Yamazaki Takahiro (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Sakurai Junpei (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan) ,  Hirai Takami (NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho Mizuho-ku Nagoya, 467-8530, Japan) ,  Takahashi Tomonori (NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho Mizuho-ku Nagoya, 467-8530, Japan) ,  Tsuji Hiroyuki (NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho Mizuho-ku Nagoya, 467-8530, Japan) ,  Hata Seiichi (Nagoya University, Furo-cho Chikusa-ku Nagoya, 464-8601, Japan)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 62  ページ： 106-112  発行年： 2020年 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体デバイスの三次元集積技術においても,室温接合と呼ばれる表面活性化結合(SAB)が用いられている。SABにはAr高速原子ビーム(FAB)を用いた。しかし,従来のFAB銃は,ガン中のArイオンスパッタリングにより炭素摩耗粉が発生するので,数百分の照射後に置き換える必要がある。したがって,本研究では,寿命を改善した新しいFABガンを開発した。提案したFAB銃は,銃におけるスパッタリングを低減し,照射効率を改善するために,Arイオンを誘導するために磁場を印加する。提案したFAB銃はガン寿命の改善の可能性を示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アルゴン ,  *原子ビーム ,  半導体素子 ,  摩耗粉 ,  プラズマ ,  弾性表面波 ,  炭素 ,  磁場 ,  フィルタ ,  接合 ,  イオンビームスパッタリング ,  表面活性化接合 ,  *ビーム
準シソーラス用語： Arイオン ,  表面活性化 ,  三次元集積化 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 表面活性化結合(SAB) ,  室温ボンディング ,  高速原子ビーム(FAB) ,  スパッタ ,  弾性表面波(SAW)フィルタ ,  Arプラズマ

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 表面活性化接合 ,  原子ビーム ,  ガン ,  開発