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J-GLOBAL ID：202002290124166118   整理番号：20A2798933

STEM-EELSスペクトルイメージング法を用いたシリコンベース多層のナノ特性評価【JST・京大機械翻訳】

Nano-characterization of silicon-based multilayers using the technique of STEM-EELS spectrum-imaging

著者 (6件)： Anjum Dalaver H. (Department of Physics, Khalifa University, P.O. Box 127788, Abu Dhabi, United Arab Emirates) ,  Qattan I.A. (Applied Quantum Materials Lab (AQML), Department of Physics, Khalifa University, P.O. Box 127788, Abu Dhabi, United Arab Emirates) ,  Patole Shashikant (Applied Quantum Materials Lab (AQML), Department of Physics, Khalifa University, P.O. Box 127788, Abu Dhabi, United Arab Emirates) ,  Diallo Elhadj M. (Ali I. Al-Naimi Petroleum Engineering Research Center (ANPERC), King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), Thuwal, 23955-6900, Saudi Arabia) ,  Wei Nini (Imaging and Characterization Lab, King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), Thuwal, 23955-6900, Saudi Arabia) ,  Heidbreder Henry (Tystar Corporation, 7050 Lampson Ave, Garden Grove, CA, 92841, United States)
資料名： Materials Today Communications  (Materials Today Communications)
巻： 25  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： W3060A  ISSN： 2352-4928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン(Si)およびその化合物は,電子および太陽エネルギー産業によってまだ積極的に使用されている。本研究では,シリコン(Si)系薄膜,すなわちSi,窒化ケイ素(SiN_x),および酸化ケイ素(SiO_2)の特性評価のための1ストップインストレント(OSI)に焦点を当てた。OSIによるSi系化合物のキャラクタリゼーションを行う目標を,現代の透過型電子顕微鏡(TEM)によるそれらのナノスケールキャラクタリゼーション(Nano-キャラクタリゼーション)を実行することによって達成した。結果は,TEMがSi系多層スタックのナノ特性評価を行うための強力なOSIであることを証明した。それは電子顕微鏡イメージング(EMI)と電子分光イメージング(ESI)経路によっている。その結果,EMIはナノスケールで薄膜の構造とモルフォロジーを画像化し,イメージングと分光法を組み合わせることによってESIは酸化物と窒化物領域から純Si領域を区別できる。さらに,初めて,ESIは非晶質Siのものから結晶Si領域を区別するのに十分に敏感であることを示した。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電子顕微鏡観察 ,  薄膜 ,  *ケイ素 ,  酸化ケイ素 ,  *画像処理 ,  太陽エネルギー ,  窒化ケイ素 ,  *透過型走査電子顕微鏡 ,  *電子エネルギー損失分光法 ,  透過型電子顕微鏡 ,  アモルファスシリコン
準シソーラス用語： 画像化 ,  ナノスケール , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  低圧化学蒸着 ,  透過型電子顕微鏡 ,  Electronエネルギー損失分光法 ,  多重線形最小二乗フィッティング

分類 (3件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： STEM ,  EELS ,  スペクトル ,  イメージング ,  シリコン ,  多層 ,  特性評価