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J-GLOBAL ID：202002291948492198   整理番号：20A2608059

ミスト化学蒸着による二酸化チタン上の二酸化スズのエピタクシー

Epitaxy of Tin Dioxide on Titanium Dioxide by Mist Chemical Vapor Deposition

著者 (6件)： Win Thant Zin (GSST, Kumamoto University) ,  Inaba Katsuhiko (X-ray Res. Lab., Rigaku Corporation) ,  Kobayashi Shintaro (Appl. Lab., Rigaku Corporation) ,  Kanetake Yuki (GSST, Kumamoto University) ,  Nakamura Yusui (GSST, Kumamoto University) ,  Nakamura Yusui (FAST, Kumamoto University)
資料名： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 45  号： 5  ページ： 173-178(J-STAGE)  発行年： 2020年 
JST資料番号： L4468A  ISSN： 1382-3469  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二酸化スズ(SnO₂)膜をm面サファイアおよび(001)平面二酸化チタン(TiO₂)基板上に,ミスト化学蒸着を用いてエピタキシャル成長させた。SnO₂膜の品質をX線回折(XRD)ω-ロッキングカーブの半値全幅(FWHM)によって評価した。FWHMの最低値はTiO₂基板上のSnO₂膜で0.06°であり,他の報告値より低かった。XRD逆空間マッピング(RSM)と透過型電子顕微鏡(TEM)により,垂直格子定数だけでなく横方向も測定した。次に,TiO₂基板上のSnO₂膜の格子定数はバルクSnO₂と同じであった。TEMと電子後方散乱回折(EBSD)観察の結果から,SnO₂膜の品質はSnO₂膜の上部でより高かった。これらの結果は,高品質の単結晶SnO₂膜がTiO₂基板上に形成されることを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *酸化チタン ,  *エピタクシー ,  *酸化スズ ,  サファイア ,  格子定数 ,  単結晶 ,  基板 ,  FWHM ,  透過型電子顕微鏡 ,  ミスト ,  ロッキングカーブ ,  写像 ,  X線回折 ,  蒸着膜
準シソーラス用語： *二酸化チタン ,  電子後方散乱回折 ,  半値全幅 ,  *二酸化スズ ,  空間マッピング

著者キーワード (10件)： ヘテロエピタクシー ,  X線回折 ,  ロッキング曲線 ,  酸化すず ,  ミストCVD ,  ヘテロエピタクシー ,  X線回折 ,  ロッキング曲線 ,  酸化すず ,  ミストCVD

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (45件)：

• [1] P. Karthick, D. Vijayanarayanan, M. Sridharan, A.K. Ananth, C. Sanjeeviraja, and K. Jeyadheepan, Thin Solid Films, 631, 1-11 (2017).
• [2] S. Wu, Y. Li, J. Luo, J. Lin, Y. Fan, Z. Gan, and X. Liu, Opt. Express, 22, 4731 (2014).
• [3] V. Fauzia, M.N. Yusnidar, L.H. Lalasari, A. Subhan, and A.A. Umar, J. Alloys Compd., 720, 79-85 (2017).
• [4] K. Suematsu, W. Harano, T. Oyama, Y. Shin, K. Watanabe, and K. Shimanoe, Anal. Chem., 90, 11219-11223 (2018).
• [5] N.S. Subramanian, B. Santhi, T. Sornakumar, G.K. Subbaraj, C. Vinoth, and G. Murugan, Ionics, 10, 273-282 (2004).

タイトルに関連する用語 (5件)： ミスト ,  化学蒸着 ,  二酸化チタン ,  二酸化スズ ,  エピタクシー