Okugawa M. について
Division of Materials and Manufacturing Science, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan について
Nakamura R. について
Department of Materials Science, Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University, Gakuen-cho 1-1, Naka-ku, Sakai 599-8531, Japan について
Numakura H. について
Department of Materials Science, Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University, Gakuen-cho 1-1, Naka-ku, Sakai 599-8531, Japan について
Ishimaru M. について
Department of Materials Science and Engineering, Kyushu Institute of Technology, Tobata, Kitakyushu, Fukuoka 804-8550, Japan について
Yasuda H. について
Research Center for Ultra-High Voltage Electron Microscopy, Osaka University, Mihogaoka 7-1, Ibaraki, Osaka 567-0047, Japan について
Journal of Applied Physics について
界面 について
結晶化 について
蒸着膜 について
低温 について
電子顕微鏡観察 について
電子照射 について
ケイ素 について
非晶質 について
不安定性 について
スパッタ蒸着 について
透過型電子顕微鏡 について
SiGe合金 について
高密度 について
熱アニーリング について
シリコンゲルマニウム について
結晶化挙動 について
半導体薄膜 について
非晶質半導体の構造 について
固相転移 について
半導体集積回路 について
スパッタ蒸着 について
結晶化 について