特許
J-GLOBAL ID：202003000386420606
透明板の形状測定方法および形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
特許業務法人SSINPAT
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-131569
公開番号（公開出願番号）：特開2018-004442
特許番号：特許第6750813号
出願日： 2016年07月01日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 照明光の波長を時間的に変化させ得る照明光源と、
前記波長を測定する波長測定手段と、
前記照明光源からの光束を平行光束とした後、該平行光束を参照面上および透明板である被測定試料に導く光学系ユニットと、
前記参照面と、前記被測定試料の表面と、前記被測定試料の裏面と、からの反射光の干渉により得られた干渉像を連続的に撮像する撮像手段と、
を備えた形状測定装置を用いた透明板の形状測定方法であって、
前記照明光源からの照明光の波長を時間的にシフトして、前記干渉像を変化させながら、該干渉像を前記撮像手段により連続的に撮像するとともに、前記波長測定手段により前記照明光の波長を測定し、
撮像して得られた干渉輝度信号に対して、下記式(1)に基づくモデル関数を適合することによって、前記被測定試料の各位置での表面高さ、裏面高さ、板厚分布のうち少なくともいずれかを測定することを特徴とする形状測定方法。
前記式(1)において、
I(i):観測輝度モデル関数値
i:データ番号
I0:参照面入射光量
φS0:参照面と被測定試料表面間の物理的距離(表面高さ)の初期波長における位相
φB0:参照面と被測定試料裏面間の光学的距離の初期波長における位相
S0:参照面と被測定試料表面間の物理的距離(表面高さ)の推測値
B0:参照面と被測定試料裏面間の光学的距離の推測値
λ0:照明光の初期波長(nm)
λi:データ番号iにおける照明光の波長(nm)
Δλi:波長シフト量(nm)
a:I0=1の時の干渉輝度信号の直流成分
bS:参照面と被測定試料表面による干渉輝度信号の振幅
bB:参照面と被測定試料裏面による干渉輝度信号の振幅
bT:被測定試料表面と被測定試料裏面による干渉輝度信号の振幅
IPC (3件)：
G01B 11/24 ( 200 6.01)
, G01B 11/06 ( 200 6.01)
, G01B 9/02 ( 200 6.01)
G01B 11/24 D
, G01B 11/06 G
, G01B 9/02
