計測装置及び照射装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：松沼泰史 , 荒則彦 , 西澤和純 , 大槻真紀子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2018029924
公開番号（公開出願番号）：WO2019-031584
出願日： 2018年08月09日
公開日（公表日）： 2019年02月14日
要約：

本発明の計測装置は、互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを2以上含むスペクトル光を、互いに隣接周波数間隔を異ならせて複数出射する光出射部と、試料の複数の異なる集光点領域のそれぞれに2以上のスペクトルを重畳領域で重ね且つ互いにずらして集光させる集光部と、前記試料における複数の重畳領域のそれぞれでの干渉光ビートにより発光し且つ前記試料の情報を含む蛍光ビートの信号を取得する検出部と、を備える。

請求項（抜粋）：

互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを2以上含むスペクトル光をそれぞれ発し、前記スペクトル光の隣接するスペクトルの周波数間隔である隣接周波数間隔がそれぞれ異なる複数の光源と、前記複数の光源から発せられた複数のスペクトル光を前記スペクトルごとに互いに異なる方向にそれぞれ分散させる分散部と、前記分散部によって分散された光源ごとの前記スペクトルを試料の複数の異なる集光点にそれぞれ集光し、且つ、1つの光源に基づく複数の集光点と他の光源に基づく複数の集光点とをそれぞれ重畳させる集光部と、前記集光部によって集光され、前記試料における集光点が重なる複数の重畳部のそれぞれでの干渉光ビートにより発光する前記試料の情報を含む蛍光ビートを、前記重畳部と共役な位置に集光し空間フィルタリングする空間フィルタリング光学系と、前記空間フィルタリング光学系で空間フィルタリングされ、前記試料の情報を含む前記複数の重畳部から発せられた蛍光ビートの信号を取得する検出部と、を備える、計測装置。

IPC (5件)：

G01N 21/64 , G01N 21/01 , G02B 21/06 , G02B 21/36 , G02B 5/18

FI (6件)：

G01N21/64 E , G01N21/64 B , G01N21/01 D , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B5/18

Fターム (74件)：

2G043AA03 , 2G043BA16 , 2G043BA17 , 2G043CA04 , 2G043CA05 , 2G043EA01 , 2G043FA01 , 2G043FA02 , 2G043FA03 , 2G043FA06 , 2G043GA02 , 2G043GA03 , 2G043GA04 , 2G043GA06 , 2G043GA08 , 2G043GA21 , 2G043GB21 , 2G043HA01 , 2G043HA02 , 2G043HA05 , 2G043HA06 , 2G043HA07 , 2G043HA09 , 2G043HA15 , 2G043JA03 , 2G043JA04 , 2G043JA05 , 2G043KA07 , 2G043KA09 , 2G043LA01 , 2G043MA16 , 2G043NA01 , 2G043NA04 , 2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059BB14 , 2G059CC16 , 2G059CC20 , 2G059EE07 , 2G059EE12 , 2G059FF01 , 2G059FF03 , 2G059FF04 , 2G059GG01 , 2G059GG02 , 2G059GG03 , 2G059GG04 , 2G059GG06 , 2G059JJ05 , 2G059JJ06 , 2G059JJ07 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ17 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059JJ30 , 2G059KK01 , 2G059LL03 , 2G059MM01 , 2G059MM07 , 2G059NN10 , 2G059PP04 , 2H052AA07 , 2H052AA09 , 2H052AC14 , 2H052AC15 , 2H052AC34 , 2H052AD34 , 2H052AD35 , 2H052AF14 , 2H249AA06 , 2H249AA58

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