特許
J-GLOBAL ID：202003000812007428

非接触保持装置、非接触保持システム、非接触搬送システム、及び非接触保持方法

発明者：
塩田 ふゆひこ

塩田 ふゆひこ について


出願人/特許権者：
リンク・パワー株式会社

リンク・パワー株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人東京国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-159327
公開番号（公開出願番号）：特開2020-032476
出願日： 2018年08月28日
公開日（公表日）： 2020年03月05日
要約：
【課題】用途に合わせた形状変更が容易な非接触保持装置、非接触保持システム、非接触搬送システム、及び非接触保持方法を提供する。【解決手段】非接触保持装置10は、保持対象物33と保持対象物33に対向する盤面31との間にエアーFを通過させることで保持対象物33を盤面31に非接触で保持させる非接触保持装置10において、盤面31を有し盤面31の中央部に厚さ方向に貫通する空洞17が設けられた吸引盤14と、空洞17に差し込まれて取り外し可能に固定される内部空間30を有する給気シャフト15と、給気シャフト15の端部を構成して空洞17からその頭頂部13が突出する突起部23と、頭頂部13の側面に設けられて内部空間30と連通する複数の噴射孔24と、を備え、突起部23は、空洞17内に取り付け端部を有して嵌め込まれる噴気キャップ12で構成され、噴気キャップ12は給気シャフト15から分離可能である。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
保持対象物と前記保持対象物に対向する盤面との間に気体を通過させることで前記保持対象物を前記盤面に非接触で保持させる非接触保持装置において、 前記盤面を有し前記盤面の中央部に厚さ方向に貫通する空洞が設けられた吸引盤と、 前記空洞に差し込まれて取り外し可能に固定される内部空間を有する給気シャフトと、 前記給気シャフトの端部を構成して前記空洞からその頭頂部が突出する突起部と、 前記頭頂部の側面に設けられて前記内部空間と連通する複数の噴射孔と、を備え、 前記突起部は、前記空洞内に取り付け端部を有して嵌め込まれる噴気キャップで構成され、 前記噴気キャップは前記給気シャフトから分離可能であることを特徴とする非接触保持装置。
IPC (4件)：
B25J 15/04 ,  B25J 15/06 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/07
FI (4件)：
B25J15/04 Z ,  B25J15/06 Z ,  H01L21/68 C ,  B65G49/07 H
Fターム (21件)：
3C707AS01 ,  3C707AS24 ,  3C707DS01 ,  3C707FS04 ,  3C707GS04 ,  3C707NS10 ,  3C707NS12 ,  3C707NS13 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131CA32 ,  5F131CA37 ,  5F131CA48 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB27 ,  5F131DB32 ,  5F131DB53 ,  5F131DB62 ,  5F131DB76
引用特許：
審査官引用 (7件)
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