特許
J-GLOBAL ID：202003000901117920
電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
池上 徹真
, 須藤 章
, 松山 允之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-145619
公開番号（公開出願番号）：特開2018-017526
特許番号：特許第6781582号
出願日： 2016年07月25日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検査対象基板を載置する、移動可能なステージと、
直線上に同一ピッチで配列されるビーム列が複数列並ぶ複数の第1の電子ビームにより構成されるマルチビームを用いて、前記ステージが所定の方向に連続移動する間、前記ステージの移動方向と平行な方向に前記マルチビームのビームの照射領域が重ならないように前記基板に前記マルチビームを照射することによって、前記基板上を走査するカラムと、
前記基板に前記マルチビームを照射することに起因して前記基板から放出される2次電子を検出する検出器と、
を備え、
前記カラムは、前記マルチビームを偏向する偏向領域のサイズが、前記ステージの移動方向より前記ステージの移動方向に直交する方向が小さくなるように、前記マルチビームを偏向することによって前記基板上を走査することを特徴とする電子ビーム検査装置。
IPC (3件)：
G01N 23/2251 ( 201 8.01)
, H01J 37/22 ( 200 6.01)
, H01J 37/147 ( 200 6.01)
G01N 23/225
, H01J 37/22 502 B
, H01J 37/147 B
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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