特許
J-GLOBAL ID：201103081795669993

ターゲットを露光するための方法およびシステム

発明者：
ウィーランド、マルコ・ヤン-ヤコ

ウィーランド、マルコ・ヤン-ヤコ について


出願人/特許権者：
マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. について


代理人 (9件)： 蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  砂川 克
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-512124
公開番号（公開出願番号）：特表2011-523786
出願日： 2009年06月04日
公開日（公表日）： 2011年08月18日
要約：
【課題】ターゲットを露光するための方法およびシステムを提供する。【解決手段】発明は、複数のビームレットによってターゲットを露光する方法に関する。最初に、複数のビームレットが供給される。ビームレットはアレイに配列される。さらに、露光されるべきターゲットが供給される。続いて、複数のビームレットとターゲットの間に第一の方向の相対移動が作り出される。最後に、複数のビームレットが第二の方向に移動され、各ビームレットがターゲット上の複数の走査線を露光する。第一の方向の相対移動と複数のビームレットの第二の方向の移動は、複数のビームレットによって露光される隣接走査線の間の距離が、アレイ中の複数のビームレットのビームレット間の第一の方向の投影ピッチPproj,Xよりも小さくなるようになっている。
請求項（抜粋）：
複数のビームレットによってターゲットを露光する方法であり、 複数のビームレットを供給することを有し、前記ビームレットはアレイに配列されており、 露光されるべきターゲットを供給することを有し、 前記複数のビームレットと前記ターゲットの間に第一の方向に相対移動を作り出すことを有し、 各ビームレットが前記ターゲット上の複数の平行走査線を露光するように前記複数のビームレットを第二の方向に移動させることを有し、 前記第一の方向の前記相対移動と前記複数のビームレットの前記第二の方向の移動は、前記複数のビームレットによって露光される隣接平行走査線の間の距離が、前記アレイ中の前記複数のビームレットのビームレット間の前記第一の方向の投影ピッチPproj,Xよりも小さくなるようになっている、方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  H01J 37/305 ,  H01J 37/147 ,  G03F 7/20
FI (4件)：
H01L21/30 541W ,  H01J37/305 B ,  H01J37/147 C ,  G03F7/20 504
Fターム (4件)：
2H097AA03 ,  5C033GG03 ,  5C034BB04 ,  5F056AA33
引用特許：
出願人引用 (11件)
全件表示
審査官引用 (11件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM