特許
J-GLOBAL ID：202003001306406523
基板処理装置および基板有無確認方法
出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所
株式会社荏原製作所 について
代理人 (9件)： 大野 聖二 , 小林 英了 , 大野 浩之 , 森田 耕司 , 津田 理 , 松野 知紘 , 酒谷 誠一 , 佃 誠玄 , 野本 裕史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-074951
公開番号（公開出願番号）：特開2017-188523
特許番号：特許第6723055号
出願日： 2016年04月04日
公開日（公表日）： 2017年10月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 所定の搬送経路に沿って、基板を保持して搬送する搬送機構と、
前記搬送機構に前記基板が保持されているか否かを検知するためのセンサと、
前記センサを制御するセンサ制御部と、
前記搬送経路中のどこに前記基板が位置しているべきかを示す情報であって、前記搬送経路中における前記基板の位置が前記センサの検知結果と整合するか否かを判定するために用いられる情報である、前記搬送経路中における前記基板の位置情報が記憶されている記憶部と、
前記記憶部から、前記基板の位置情報を取得する位置情報取得部と、
前記センサから検知結果を取得する検知結果取得部と、
前記センサの検知結果が前記基板の位置情報と整合するか否かを判定する判定処理部と、
を備え、
前記センサ制御部は、前記センサの検知結果が前記基板の位置情報と整合しないと判定された場合に、前記基板が保持されているか否かを前記センサに再度検知させる、基板処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B65G 49/07 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B24B 51/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
FI (5件)：
引用特許：
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