特許
J-GLOBAL ID：202003002724646995
圧縮性流体供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
グローバル・アイピー東京特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-085925
公開番号（公開出願番号）：特開2017-194038
特許番号：特許第6728522号
出願日： 2016年04月22日
公開日（公表日）： 2017年10月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 圧縮性流体を消費する消費設備へ供給する圧縮性流体供給装置であって、
低圧の圧縮性流体が供給される低圧配管と、
前記低圧配管内の圧縮性流体を圧縮する圧縮機と、
前記圧縮機により圧縮されることにより昇温した圧縮性流体が送出される高温高圧配管と、
前記高温高圧配管内の昇温した圧縮性流体を冷却する熱交換器と、
前記熱交換器により冷却された圧縮性流体を前記消費設備へ供給する低温高圧配管と、
前記高温高圧配管から前記低圧配管へ昇温した圧縮性流体を戻すための高温スピルバック配管と、
前記低温高圧配管から前記低圧配管へ冷却された圧縮性流体を戻すための低温スピルバック配管と、
前記低温高圧配管内の圧縮性流体の圧力を計測する圧力計と、
前記高温スピルバック配管の流量を制御する高温スピルバック弁と、
を備え、
前記高温スピルバック弁の開度は、前記圧力計により計測された圧力に応じて調整される、圧縮性流体供給装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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