特許
J-GLOBAL ID：202003003891343720

シート貼付装置およびシート貼付方法

発明者：
杉下 芳昭

杉下 芳昭 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (3件)： 山崎 崇裕 ,  扇原 梢伸 ,  加久田 典子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-122438
公開番号（公開出願番号）：特開2020-004829
出願日： 2018年06月27日
公開日（公表日）： 2020年01月09日
要約：
【課題】被着体に貼付された第1接着シートに張力を極力付与することなく第2接着シートに貼付することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供する。【解決手段】第1面WF1に第1接着シートAS1が貼付された被着体WFの第2面WF2に第2接着シートAS2を貼付し、第1接着シートAS1が貼付された被着体WFを支持する第1支持手段10と、第2接着シートAS2を支持し、第2接着シートAS2の接着面AS2Aを第1支持手段10で支持した第2面WF2に対向させて配置する第2支持手段30と、第2面WF2を第2接着シートAS2の接着面AS2Aに押圧して貼付する押圧手段40とを備える。押圧手段40は、第1接着シートAS1に赤外線を照射して膨張性粒子SGを膨張させることで、第1接着シートAS1に貼付されている被着体WFを変位させて第2面WF2を第2接着シートAS2の接着面AS2Aに押圧して貼付する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1面に第1接着シートが貼付された被着体の第2面に第2接着シートを貼付するシート貼付装置において、 前記被着体の前記第2面が表出した状態で前記第1接着シートが貼付された前記被着体を支持する第1支持手段と、 前記第2接着シートを支持し、当該第2接着シートの接着面を前記第1支持手段で支持した前記被着体の前記第2面に対向させて配置する第2支持手段と、 前記被着体の前記第2面を前記第2接着シートの接着面に押圧して貼付する押圧手段とを備え、 前記第1接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性粒子が添加されており、 前記押圧手段は、前記第1接着シートに前記エネルギーを付与して前記膨張性粒子を膨張させることで、前記第1接着シートに貼付されている前記被着体を変位させて当該被着体の前記第2面を前記第2接着シートの接着面に押圧して貼付することを特徴とするシート貼付装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/301
FI (3件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/78 M ,  H01L21/78 V
Fターム (23件)：
5F063AA18 ,  5F063CB07 ,  5F063CB28 ,  5F063DD81 ,  5F063DG28 ,  5F063DG34 ,  5F063EE42 ,  5F063EE43 ,  5F131AA02 ,  5F131BA52 ,  5F131BA53 ,  5F131CA47 ,  5F131DB52 ,  5F131DB72 ,  5F131DB87 ,  5F131EA07 ,  5F131EB01 ,  5F131EC33 ,  5F131EC34 ,  5F131EC63 ,  5F131EC72 ,  5F131EC73 ,  5F131HA44
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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