特許
J-GLOBAL ID：201203071989990212
転写装置および転写方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-089755
公開番号（公開出願番号）：特開2012-222308
出願日： 2011年04月14日
公開日（公表日）： 2012年11月12日
要約：
【課題】床面に対する占有スペースを最小限に抑えることが可能な転写装置および転写方法を提供すること。【解決手段】転写装置1は、第2接着シートS2の他方の面側に接する支持面21で、第2接着シートS2を支持する第2シート支持手段2と、第1接着シートS1を支持するとともに、第2シート支持手段2で支持された第2接着シートS2の一方の面に、ウェハWを対向配置させる第1シート支持手段3と、第1接着シートS1に貼付されているウェハWを、第2接着シートS2に押圧して転着する押圧手段4と、第1接着シートS1全体が、支持面21と直交する方向に沿って第2接着シートS2から離間するように、第1シート支持手段3と第2シート支持手段2とを相対移動させる移動手段5と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1面が第1接着シートの一方の面に貼付された板状部材の第2面を、第2接着シートの一方の面に貼付して、前記板状部材を前記第2接着シートに転着する転写装置であって、
前記第2接着シートの他方の面側に接する支持面で、前記第2接着シートを支持する第2シート支持手段と、
前記第1接着シートを支持するとともに、前記第2シート支持手段で支持された第2接着シートの一方の面に、前記板状部材を対向配置させる第1シート支持手段と、
前記第1接着シートに貼付されている板状部材を、前記第2接着シートに押圧して貼付する押圧手段と、
前記第1シート支持手段と前記第2シート支持手段とを前記支持面に直交する方向に相対移動させて前記第1接着シートを板状部材から剥離可能な移動手段と、
を備えることを特徴とする転写装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683
, H01L 21/301
H01L21/68 N
, H01L21/78 P
5F031CA02
, 5F031DA13
, 5F031FA03
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031FA20
, 5F031HA13
, 5F031HA78
, 5F031LA07
, 5F031LA08
, 5F031MA34
, 5F031MA37
, 5F031MA38
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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