特許

J-GLOBAL ID：202003004488747354

振動緩衝機構を備えた光干渉長さ測定装置

発明者： 宇都宮 真 ,  神谷 友裕 ,  遠藤 聡 ,  島田 賢次 ,  槙島 利彰
出願人/特許権者： 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 ,  アドバンス理工株式会社
代理人 (1件)： 松下 昌弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-058191
公開番号（公開出願番号）：特開2017-173079
特許番号：特許第6699054号
出願日： 2016年03月23日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 参照面と被検面とにそれぞれ照射した光を干渉させて、前記参照面と前記被検面との間の長さを測定する光干渉長さ測定装置であって、 前記参照面と前記被検面の少なくとも一方を、設置面から振動を緩衝して支持する緩衝手段と、 被測定対象の一端と接触する前記被検面を備えた第1のミラーを支持する第1の支持部と、 前記被測定対象の他端と接触する前記参照面を備えた第2のミラーを支持する第2の支持部と を有し、 前記緩衝手段は、 緩衝液を収容する第1のタンクと、 前記第1のタンク内に浮き、前記第1の支持部と一体となって前記光の光軸方向に移動する浮体とを有する 測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/02 ( 200 6.01) ,  G01B 9/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 11/02 G ,  G01B 9/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-124405
  
• 光波距離計の支持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-077052   出願人：株式会社大林組