特許
J-GLOBAL ID：202003004535891485

取出しツールと反転ツールとを有するチップ搬送装置のための補足ツール

発明者：
セバスティアン・ローマイアー

セバスティアン・ローマイアー について

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トーマス・ロスマン

トーマス・ロスマン について

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ミケーレ・トリジャーニ

ミケーレ・トリジャーニ について


出願人/特許権者：
エーエスエム・アセンブリー・システムズ・ゲーエムベーハー・ウント・コ・カーゲー

エーエスエム・アセンブリー・システムズ・ゲーエムベーハー・ウント・コ・カーゲー について


代理人 (3件)： 村山 靖彦 ,  実広 信哉 ,  阿部 達彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-197466
公開番号（公開出願番号）：特開2019-080061
特許番号：特許第6766118号
出願日： 2018年10月19日
公開日（公表日）： 2019年05月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウエハ(195)から自動実装機(110)の実装ヘッド(136)にチップ(192)を搬送するためのチップ搬送装置(142)であって、 (i)個別化されたチップ(192)を前記ウエハ(195)から取り出すための、 (ii)取り出された前記チップ(192)をFCOBチップ(292a)として第1ピックアップポジション(256)で提供するために反転させるための、及び (iii)取り出された前記チップ(192)を共通の引渡しポジション(246)で、第2回転軸(261)周りに回転可能な反転ツール(160)に引き渡すための、 第1回転軸(251)周りに回転可能な取出しツール(150)と、 (i)前記取出しツール(150)からチップ(192)を受け取るための、及び (ii)受け取った前記チップ(192)をCOBチップ(292b)として第2ピックアップポジション(266)で提供するために新たに反転させるための、 回転可能な前記反転ツール(160)と を備えるチップ搬送装置(142)であって、 前記取出しツール(150)は、それぞれ1つのチップ(192)を一時的に受容するための複数の第1グリッパ(252)を備え、前記第1グリッパ(252)は、前記第1回転軸(251)から半径方向に離れて第1レベル平面(352a)に設けられており、 前記反転ツール(160)は、それぞれ1つのチップ(192)を一時的に受容するための複数の第2グリッパ(262)を備え、前記第2グリッパ(262)は、前記第2回転軸(261)から半径方向に離れて第2レベル平面(362a)に設けられており、 前記取出しツール(150)と前記反転ツール(160)のうち少なくとも1つの回転可能なツール(160)は第1インターフェース(368)を備え、前記第1インターフェース(368)には、補足ツール(170)の中心軸(371)から半径方向に離れてさらなるレベル平面(372a)に設けられている複数のさらなるグリッパ(372)を備える補足ツール(170)が、具設可能であり、 前記第1インターフェース(368)は、補足ツール(170)が具設されると、前記中心軸(371)が前記第1回転軸もしくは前記第2回転軸(261)と一致するように作られている、チップ搬送装置(142)。
IPC (3件)：
H01L 21/50 ( 200 6.01) ,  H05K 13/04 ( 200 6.01) ,  H05K 13/02 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/50 C ,  H05K 13/04 B ,  H05K 13/02 P
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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