特許
J-GLOBAL ID：200903000794035194

ワーク複合処理装置

発明者：
牧野 誠

牧野 誠 について


出願人/特許権者：
キヤノンマシナリー株式会社

キヤノンマシナリー株式会社 について


代理人 (5件)： 江原 省吾 ,  田中 秀佳 ,  白石 吉之 ,  城村 邦彦 ,  熊野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-241899
公開番号（公開出願番号）：特開2008-066472
出願日： 2006年09月06日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：
【課題】ワークに対して種々の処理を行う各種の機構を効率よく配置できて、装置全体として小型化を図ることができるワーク複合処理装置を提供する。【解決手段】ワーク供給手段21にて、薄肉チップ状のワークWをピックアップ位置に供給する。ピックアップ位置では、搬送手段22にて、ピックアップ位置に供給されたワークWを180度反転させて、ピックアップ位置から所定距離離れた受取位置に搬送する。受取位置では、回転テーブル23がワークWを受取る。処理手段25にて、回転テーブル23の回転によって検査位置に供給されたワークWの電気特性等の検査を行う。処理手段25にて処理されたワークWを受取り手段70にて受取る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
薄肉チップ状のワークをピックアップ位置に供給するワーク供給手段と、 ピックアップ位置に供給されたワークを180度反転させて、ピックアップ位置から所定距離離れた受取位置に搬送する搬送手段と、 前記受取位置でワークを受取るとともに、前記ピックアップ位置のワークと平行な平面内で回転する回転テーブルと、 前記受取位置とピックアップ位置との間のスペースに配設されて、回転テーブルの回転によって検査位置に供給された前記ワークを検査する検査部を有する処理手段と、 処理手段にて処理されたワークを受取る受取り手段とを備えたことを特徴とするワーク複合処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/50
FI (2件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/50 C
Fターム (11件)：
5F031CA13 ,  5F031FA05 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA21 ,  5F031GA54 ,  5F031MA01 ,  5F031MA06 ,  5F031MA33 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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