特許
J-GLOBAL ID：202003004806721360
堆積システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-521435
公開番号（公開出願番号）：特表2020-502778
出願日： 2016年12月14日
公開日（公表日）： 2020年01月23日
要約：
本開示によると、キャリアによって支持された基板上に1つ又は複数の層を堆積するための処理システム(100)が提供される。当該処理システムは、基板をロードするためのロードロックチャンバ(110)、基板を搬送するためのルーティングモジュール(410)、第1の真空スイングモジュール(131)、材料を堆積するための堆積源を含む処理モジュール(510)、サービスモジュール(610)、基板をアンロードするためのアンロードロックチャンバ(116)、さらなるルーティングモジュール(412)、処理システムの動作の間に利用されるマスクを格納且つ搬送するように構成されたマスクキャリアマガジン(320)、さらなる真空スイングモジュール(132)、及び第1の真空スイングモジュール(131)とさらなる真空スイングモジュール(132)との間でキャリアを搬送するように構成された搬送システム(710)を含む。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
キャリアによって支持された基板上に1つ又は複数の層、具体的には、有機材料をその中に含む層を堆積するための処理システム(100)であって、
第1の基板を水平状態から垂直状態へと回転させるように構成された第1の真空スイングモジュール(131)、
前記第1の真空スイングモジュール(131)に接続された第1のバッファチャンバ(151)、
前記第1のバッファチャンバ(151)に接続されたルーティングモジュール(410)であって、前記第1の基板を、堆積源を備えた処理構成体(1000)へと搬送するように構成されたルーティングモジュール(410)、
前記ルーティングモジュール(410)に接続された第2のバッファチャンバ(152)、及び
前記第2のバッファチャンバ(152)に接続されたさらなる真空スイングモジュール(132)であって、第2の基板を垂直状態から水平状態へと回転させるように構成されたさらなる真空スイングモジュール(132)
を備え、
前記第1のバッファチャンバ(151)が、第1の基板搬送方向で前記第1の真空スイングモジュール(131)から受け取った前記第1の基板をバッファリングし、かつ第2の基板搬送方向で前記ルーティングモジュール(410)から受け取った第3の基板をバッファリングするように構成され、且つ
前記第2のバッファチャンバ(152)が、前記第2の基板搬送方向で前記さらなる真空スイングモジュール(132)から受け取った第2の基板をバッファリングし、かつ前記第1の基板搬送方向で前記ルーティングモジュール(410)から受け取った第4の基板をバッファリングするように構成されている、処理システム(100)。
IPC (3件)：
H01L 21/677
, C23C 14/56
, C23C 14/24
H01L21/68 A
, C23C14/56 G
, C23C14/56 J
, C23C14/24 C
4K029AA02
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029AA24
, 4K029AA25
, 4K029BA62
, 4K029BB02
, 4K029BD01
, 4K029CA01
, 4K029DA03
, 4K029DA12
, 4K029DB12
, 4K029DB14
, 4K029HA01
, 4K029JA01
, 4K029KA01
, 4K029KA02
, 4K029KA09
, 5F131AA03
, 5F131AA33
, 5F131BA03
, 5F131BB03
, 5F131BB05
, 5F131CA12
, 5F131CA24
, 5F131CA32
, 5F131DA02
, 5F131DA05
, 5F131DA32
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131DA52
, 5F131DA62
, 5F131DC18
, 5F131DC19
, 5F131GA05
, 5F131GA22
, 5F131GA26
, 5F131GA32
