特許
J-GLOBAL ID：201403035665730577

測定ユニットを備えた蒸発システム

発明者：
ホフマン, ウーヴェ

ホフマン, ウーヴェ について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-503119
公開番号（公開出願番号）：特表2014-514450
出願日： 2012年04月03日
公開日（公表日）： 2014年06月19日
要約：
基板上に材料を蒸着するための蒸発器が説明される。この蒸発器は、少なくとも1つの開口ノズルの方向に材料を案内するための案内手段を含む。案内手段は、材料の一部分のための測定出口を含む。蒸発器は、蒸発器の堆積速度に相関する第1の信号を生成するように構成され、かつ材料によりコーティングされるように位置決めされた第1の検出器を有する、第1の測定システムと、蒸発器の堆積速度に相関する第2の信号を生成するための第2の光学測定システムとをさらに含み、第2の信号は、測定出口の材料の部分に基づいている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に材料を蒸着するための蒸発器であって、 少なくとも1つの開口ノズルの方向に前記材料を案内するための案内手段であって、前記少なくとも1つの開口ノズルの蒸発方向とは異なる蒸発方向を特に有する前記材料の一部分のための測定出口を備える、案内手段を備え、 前記蒸発器は、 当該蒸発器の堆積速度に相関する第1の信号を生成するように構成され、かつ前記材料によりコーティングされるように位置決めされた第1の検出器を有する、第1の測定システムと、 当該蒸発器の前記堆積速度に相関する第2の信号を生成するための第2の光学測定システムであって、前記第2の信号は、前記測定出口の前記材料の前記部分に基づいている、第2の光学測定システムと をさらに備える、蒸発器。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10
FI (3件)：
C23C14/24 U ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10
Fターム (20件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107BB02 ,  3K107CC33 ,  3K107CC45 ,  3K107GG01 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  3K107GG34 ,  3K107GG54 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DA03 ,  4K029DA12 ,  4K029DB06 ,  4K029DB18 ,  4K029HA01
引用特許：
審査官引用 (5件)
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