特許
J-GLOBAL ID：202003006297891563
ペロブスカイト膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-056304
公開番号（公開出願番号）：特開2017-119907
特許番号：特許第6704133号
出願日： 2016年03月18日
公開日（公表日）： 2017年07月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ペロブスカイト構造体の前駆体溶液を霧化または液滴化し、得られたミストまたは液滴をキャリアガスで基体まで搬送し、ついで前記ミストまたは液滴を250°C以下の温度で熱反応させて前記基体上に前記ペロブスカイト構造体を成膜することを特徴とするペロブスカイト膜の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 16/448 ( 200 6.01)
, H01L 21/316 ( 200 6.01)
, C23C 20/06 ( 200 6.01)
C23C 16/448
, H01L 21/316 X
, C23C 20/06
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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