特許

J-GLOBAL ID：202003006373365876

電子ビーム検査装置

発明者： 小川 力 ,  安藤 厚司
出願人/特許権者： 株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人 (3件)： 池上 徹真 ,  須藤 章 ,  高下 雅弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-225139
公開番号（公開出願番号）：特開2020-085838
出願日： 2018年11月30日
公開日（公表日）： 2020年06月04日
要約：

【目的】数か所の点で支持される、表面全体が絶縁体である基板についても検査領域全体の電位を一定にすることが可能な装置を提供する。【構成】本発明の一態様の検査装置100は、ステージ105と、ステージ上に配置され、図形パターンが形成された、少なくとも表面が絶縁体の基板を複数の点で支持する複数の支持ピン226と、基板上に電子ビームを入射させる光学系と、電子ビームが入射する基板の入射面とは反対の裏面側に隙間を空けて配置された平板電極224と、電子ビームが基板に入射させられることに起因して、基板から放出される2次電子を検出する検出器222と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ステージと、 前記ステージ上に配置され、図形パターンが形成された、少なくとも表面が絶縁体の基板を複数の点で支持する複数の支持部材と、 前記基板上に電子ビームを入射させる光学系と、 前記電子ビームが入射する前記基板の入射面とは反対の裏面側に隙間を空けて配置された平板電極と、 前記電子ビームが前記基板に入射させられることに起因して、前記基板から放出される2次電子を検出する検出器と、 を備えたことを特徴とする電子ビーム検査装置。

IPC (5件)：

G01N 23/225 ,  G01N 23/04 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01N23/2251 ,  G01N23/04 ,  H01J37/20 H ,  H01J37/28 B ,  H01L21/66 J

Fターム (19件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001GA08 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ02 ,  5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5C033UU10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 走査型電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-234324   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 電子線装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-315292   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ