特許
J-GLOBAL ID：200903072444655697
走査型電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-234324
公開番号（公開出願番号）：特開2006-054094
出願日： 2004年08月11日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
【課題】 絶縁物試料を荷電粒子線にて観察する際に発生する帯電によって、試料表面電位が荷電粒子線照射領域面内で不均一となることで生じる電位勾配により該荷電粒子線の軌道が偏向されるビームドリフトを低減する。【解決手段】 試料に照射する荷電粒子線のエネルギーを試料から発生する二次電子の発生効率が1以上となるように設定する。装置の構成としては、独立に電圧を印加することができ、一次荷電粒子線が通過することができる孔を具備した平板電極を試料に対向して配置し、試料を積載する試料台は独立に電圧を印加することができ、試料に対向する面は平坦化されて凹凸の無い構造とする。また、該平板電極に設けられた孔の直径Dと該平板電極と該試料との距離LはD/L≦1.5の関係を満たすように設定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
対物レンズの下方に独立して電圧を印加することの出来る電極と、該電極の下方に独立して電圧を印加することの出来る試料を積載するための試料台を配置し、該電極と該試料台に電圧を印加することで該電極と該試料台間に形成される平行電界が作る任意の等電位面と試料の表面が一致するように試料を該電極と該試料台の間に設置するように構成されたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J37/20 H
, H01J37/28 B
5C001AA01
, 5C001CC04
, 5C001DD02
, 5C033UU03
, 5C033UU04
, 5C033UU10
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (6件)
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