特許
J-GLOBAL ID:202003007801181382

振動波形センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 梶原 康稔 ,  高久 由紀子
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-090163
公開番号(公開出願番号):特開2017-196211
特許番号:特許第6742797号
出願日: 2016年04月28日
公開日(公表日): 2017年11月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】 基板と、 前記基板上に形成された一対の導電パッドと、 前記一対の導電パッドの各々から引き出された一対の外部導体と、 圧電体と該圧電体に形成された一対の端子電極とを有し、前記圧電体の分極方向が前記一対の端子電極の対向する方向に対して垂直方向であり、前記一対の端子電極の各々が前記一対の導電パッドに接続されて、前記分極方向が前記基板に対して垂直になるように実装された圧電素子と、 前記圧電素子及び前記一対の導電パッドの周辺に、前記圧電素子の実装高さよりも高く形成されたスペーサと、 を備えており、 前記スペーサをグランド電位に接続したことを特徴とする振動波形センサ。
IPC (5件):
A61B 5/02 ( 200 6.01) ,  H01L 41/113 ( 200 6.01) ,  H01L 41/047 ( 200 6.01) ,  H01L 41/053 ( 200 6.01) ,  H01L 41/083 ( 200 6.01)
FI (5件):
A61B 5/02 310 K ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/053 ,  H01L 41/083
引用特許:
審査官引用 (4件)
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