特許
J-GLOBAL ID：201403091829393248
圧電素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
福地 武雄
, 白川 洋一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-216585
公開番号（公開出願番号）：特開2014-072329
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
要約：
【課題】生産性に優れた工程で、変位量や発生力を維持しつつ、応力破壊し難く長寿命化した圧電素子の製造方法を提供する。【解決手段】圧電セラミックス層101と一層おきに外部電極103a、103bに接続された内部電極102a、102bとが交互に積層された圧電素子100の製造方法であって、圧電セラミックスのグリーンシートに、電極ペーストを塗布する工程と、電極ペーストが塗布されたグリーンシートを積層し積層成形体に成形する工程と、積層成形体を脱脂し、電極ペーストに含まれる電極材料の固相線から液相線の温度範囲で焼成する工程と、を含む。これにより、活性層104の不活性層近傍の領域104bに電極拡散の勾配が生じ、変位量にも勾配が生じるため、活性層104と不活性層105との境界に生じる応力を緩和することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧電セラミックス層と一層おきに外部電極に接続された内部電極とが交互に積層された圧電素子の製造方法であって、
圧電セラミックスのグリーンシートに、電極ペーストを塗布する工程と、
前記電極ペーストが塗布されたグリーンシートを積層し積層成形体に成形する工程と、
前記積層成形体を脱脂し、前記電極ペーストに含まれる電極材料の固相線から液相線の温度範囲で焼成する工程と、を含むことを特徴とする圧電素子の製造方法。
IPC (3件)：
H01L 41/22
, H01L 41/083
, H01L 41/187
H01L41/22 Z
, H01L41/08 S
, H01L41/18 101D
