特許
J-GLOBAL ID：202003008593318669

インプリントモールド

発明者：
川俣 尚志

川俣 尚志 について

, 
吉田 幸司

吉田 幸司 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 太田 昌孝 ,  米田 潤三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-151727
公開番号（公開出願番号）：特開2018-022732
特許番号：特許第6753197号
出願日： 2016年08月02日
公開日（公表日）： 2018年02月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1面及び当該第1面に対向する第2面を有する基部と、 前記基部の前記第1面側に設定される複数のパターン領域を含むパターン領域群と、 前記複数のパターン領域のそれぞれに形成されている凹凸パターンと を具備し、 前記凹凸パターンは、第1パターン及び第2パターンを含み、 前記第1パターン及び前記第2パターンは、互いに異なる形状を有し、 前記複数のパターン領域のそれぞれは、第1〜第N領域(Nは2以上の整数である。)を含み、 一の前記パターン領域に含まれる第1領域には、前記第1パターンが形成されており、 一の前記パターン領域に含まれる第2領域には、前記第2パターンが形成されており、 前記第1領域と前記第2領域とは、互いに異なる表面積を有し、 前記複数のパターン領域のそれぞれの表面積分布は対称性を有さず、 前記複数のパターン領域は、前記表面積分布が互いに同一である2以上の前記パターン領域と前記表面積分布が互いに対称性を有する2以上の前記パターン領域とからなるか、又は、前記表面積分布が互いに対称性を有する2以上の前記パターン領域からなり、 前記複数のパターン領域は、前記パターン領域群内の全体における表面積分布が対称性を示すように前記パターン領域群内に配置されている ことを特徴とするインプリントモールド。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  B29C 33/42 ( 200 6.01) ,  B29C 59/02 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/30 502 D ,  B29C 33/42 ,  B29C 59/02 B
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM