特許
J-GLOBAL ID：202003010014160646
プラズマ光源及び極端紫外光の発光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 安田 亮輔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-159302
公開番号（公開出願番号）：特開2018-028568
特許番号：特許第6717111号
出願日： 2016年08月15日
公開日（公表日）： 2018年02月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 中央面を挟んで対向する一対の同軸状電極を備えたプラズマ光源であって、
前記同軸状電極は、前記中央面と直交する方向に延在する中心電極と、
前記中心電極の軸線を中心とする仮想円の周方向に離間し、前記中央面に向かって延在する複数の外部電極と、を備え、
前記プラズマ光源は、前記周方向に隣り合う外部電極を結ぶ仮想線よりも外側で、プラズマ媒質を保持するプラズマ媒質保持部と、
前記プラズマ媒質保持部に保持された前記プラズマ媒質にレーザを照射するレーザ照射部と、を備え、
前記レーザが照射されて前記プラズマ媒質を蒸発させる媒質蒸気発生位置が、前記同軸状電極に対して複数設けられ、
複数の前記媒質蒸気発生位置は、
前記中心電極と前記外部電極との間で放電が開始される放電開始位置に供給される媒質蒸気を発生させる第1の媒質蒸気発生位置と、
前記放電開始位置よりも前記中央面側である前側に供給される媒質蒸気を発生させる第2の媒質蒸気発生位置と、を含み、
放電開始時において、前記放電開始位置における前記媒質蒸気の濃度よりも低い濃度の前記媒質蒸気を、前記放電開始位置よりも前側に供給するプラズマ光源。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H05G 2/00 ( 200 6.01)
, H05H 1/48 ( 200 6.01)
G03F 7/20 503
, H05G 2/00 K
, G03F 7/20 521
, H05H 1/48
