特許
J-GLOBAL ID：202003011054548015
容器収納設備
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人R&C
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-139587
公開番号（公開出願番号）：特開2017-186161
特許番号：特許第6729115号
出願日： 2016年07月14日
公開日（公表日）： 2017年10月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 収納領域に複数設置されて容器を収納する収納部と、
前記収納領域における前記複数の収納部の一部又は全部を供給収納部として、前記供給収納部に収納されている前記容器の内部に気体を供給する気体供給装置と、を備え、
前記気体供給装置は、複数の前記供給収納部の夫々に対して設置され且つ前記供給収納部に収納された前記容器に接続される複数の接続部と、前記収納領域の外部に設置された供給源から供給される気体を前記複数の接続部に分岐供給する配管と、前記配管内を通流する気体の流量を制御するマスフローコントローラと、を備えた容器収納設備であって、
前記配管は、前記複数の供給収納部の一部又は全部により構成される供給収納部群に対して、前記供給収納部群を構成する2つ以上の前記供給収納部の夫々に対して設置された2つ以上の第1配管と、気体の通流方向において前記2つ以上の第1配管より上流側に設置された単一の流路を形成する第2配管と、前記第2配管から供給される気体を前記2つ以上の第1配管に分岐させる分岐配管と、を備え、
前記マスフローコントローラは、前記第2配管における前記単一の流路上に設置され、
前記収納領域の外部に設定された設置領域に、前記マスフローコントローラが設置され、
前記収納領域の側周囲を空気の通流を規制するように覆う壁体を備え、
前記壁体は、空気の通流を規制する設置床に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向に沿う姿勢で設置されると共に空気の通流を規制する主壁部と、前記設置床に対して上方に間隔を空けた位置に前記設置床に沿って設置されると共に空気の通流を規制する副壁部と、を備え、
上下方向に見て前記主壁部の厚み方向において、前記主壁部に対して前記収納領域が存在する方向を第1方向、前記第1方向とは反対の方向を第2方向とし、
前記主壁部の上端に、前記主壁部の上方から空気を前記収納領域に流入させる流入口が形成され、
前記収納領域と前記副壁部より下方の前記設置領域とが連通し、
前記副壁部における前記第2方向の端部の下方に、前記設置領域から前記副壁部の前記第2方向に空気を流出させる流出口が形成され、
前記副壁部における前記第1方向の部分が、前記副壁部と前記主壁部との間を空気の通流を規制する状態で前記主壁部における下端に接続され、
前記マスフローコントローラは、前記副壁部と前記設置床との間で且つ上下方向に見て前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記主壁部より前記第2方向に位置し且つ前記マスフローコントローラの少なくとも一部が前記副壁部における前記第1方向の端部より前記第2方向に位置するように設置されている容器収納設備。
IPC (2件)：
B65G 1/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/673 ( 200 6.01)
B65G 1/00 521 D
, H01L 21/68 T
