特許
J-GLOBAL ID：202003011993440510
センサを備えた装置、及びターゲット測定を実行する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-515793
特許番号：特許第6737879号
出願日： 2016年09月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ターゲットを測定する方法であって、
前記ターゲットと測定装置の測定スポットとの間で第1の方向に第1の相対的な移動を実行することと、
前記第1の相対的な移動の後、少なくとも部分的に前記測定スポットが前記ターゲット上にある間に又は前記測定スポットを前記ターゲット上に位置付けるため、前記測定スポットと前記ターゲットとの間で第2の方向に第2の相対的な移動を実行することと、
前記第2の相対的な移動の間に又は後に、前記ターゲット上の前記測定スポットを用いて前記ターゲットの第1の測定を実行することと、
前記第1の測定の後、前記ターゲットと前記測定スポットとの間で前記第1の方向とは本質的に反対の方向に第3の相対的な移動を実行することと、
前記第3の相対的な移動の後、少なくとも部分的に前記測定スポットが前記ターゲット上にある間に又は前記測定スポットを前記ターゲット上に位置付けるため、前記測定スポットと前記ターゲットとの間で前記第2の方向に第4の相対的な移動を実行することと、
前記第4の相対的な移動の間に又は後に、前記ターゲット上の前記測定スポットを用いて前記ターゲットの第2の測定を実行することと、
前記第1及び第2の測定を平均することと、
を含み、
前記平均によって前記ターゲット又はパターニングプロセスのパラメータが決定される、方法。
IPC (3件)：
G03F 9/00 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
G03F 9/00
, G03F 7/20 501
, G01B 11/00 G
