特許
J-GLOBAL ID:202003012755352804
塗布部材、塗布装置および塗布方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人深見特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-140594
公開番号(公開出願番号):特開2020-015016
出願日: 2018年07月26日
公開日(公表日): 2020年01月30日
要約:
【課題】塗布針を用いて液体材料の塗布を安定して実施できる塗布部材、塗布装置および塗布方法を提供する。【解決手段】塗布部材は、処理対象材に液体材料を塗布するための塗布針24aと、外筒24bと、第1駆動部80と、第2駆動部とを備える。外筒24bは、塗布針24aの外周を囲み、塗布針24aの先端に近い側に位置する第1端を含む。第1駆動部80は、塗布針24aの延在方向である第1方向において、塗布針24aに対して外筒24bを相対的に移動させる。第1駆動部80は、塗布針24aの先端が外筒24bの第1端より外筒24bの内部に後退している第1状態と、塗布針24aの先端が第1状態より外筒24bの第1端側に移動した第2状態とを切替えるように構成されている。【選択図】図4
請求項(抜粋):
処理対象材に液体材料を塗布するための塗布針と、
前記塗布針の外周を囲み、前記塗布針の先端に近い側に位置する第1端を含む外筒と、
前記塗布針の延在方向である第1方向において、前記塗布針に対して前記外筒を相対的に移動させる第1駆動部と、
前記塗布針および前記外筒を前記第1方向に移動させる第2駆動部とを備え、
前記第1駆動部は、前記塗布針の前記先端が前記外筒の前記第1端より前記外筒の内部に後退している第1状態と、前記塗布針の前記先端が前記第1状態より前記外筒の前記第1端側に移動した第2状態とを切替えるように構成されている、塗布部材。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (20件):
4D075AC47
, 4D075AC88
, 4D075DC16
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA27
, 4D075EA35
, 4F040AA02
, 4F040AB04
, 4F040AC04
, 4F040BA04
, 4F040CA03
, 4F040CA05
, 4F040CA09
, 4F040CA13
, 4F040CA17
, 4F040DA02
, 4F040DA03
, 4F040DA14
, 4F040DA15
引用特許: