特許
J-GLOBAL ID：202003012780184541
真空チャンバ内でキャリアを位置合わせするための装置および真空システム、ならびにキャリアを位置合わせする方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-519239
公開番号（公開出願番号）：特表2020-518123
出願日： 2018年04月03日
公開日（公表日）： 2020年06月18日
要約：
真空チャンバ(101)内でキャリアを位置合わせするための装置(100)が、説明される。装置は、第1のキャリア(10)を第1の搬送経路に沿って第1の方向(X)に搬送するように構成された第1のキャリア搬送システム(120)と、位置合わせシステム(130)とを含む。位置合わせシステムは、第1のキャリア(10)を位置合わせシステム(130)に取り付けるための第1のマウント(152)と、第1のマウント(152)を少なくとも1つの位置合わせ方向に移動させるように構成された位置合わせデバイス(151)と、位置合わせデバイス(151)を第1のマウント(152)と共に第1の方向(X)に対して横方向の第2の方向(Z)に移動させるように構成された第1のシフトデバイス(141)とを含む。さらに、真空システムおよびキャリアを位置合わせする方法が、説明される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空チャンバ(101)内でのキャリア位置合わせのための装置であって、
第1のキャリア(10)を第1の搬送経路に沿って第1の方向(X)に搬送するように構成された第1のキャリア搬送システム(120)と、
位置合わせシステム(130)と、
を備え、前記位置合わせシステム(130)が、
前記第1のキャリア(10)を前記位置合わせシステム(130)に取り付けるための第1のマウント(152)と、
前記第1のマウント(152)を少なくとも1つの位置合わせ方向に移動させるように構成された位置合わせデバイス(151)と、
前記位置合わせデバイス(151)を前記第1のマウント(152)と共に前記第1の方向(X)に対して横方向の第2の方向(Z)に移動させるように構成された第1のシフトデバイス(141)と、
を備える、装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/68 K
, C23C14/50 K
, C23C14/50 F
4K029CA01
, 4K029HA01
, 4K029JA01
, 4K029JA05
, 4K029KA01
, 5F131AA03
, 5F131AA33
, 5F131BA03
, 5F131BA04
, 5F131CA18
, 5F131CA32
, 5F131EA02
, 5F131EA14
, 5F131EA15
, 5F131EA22
, 5F131EA23
, 5F131EB11
, 5F131EB62
, 5F131EB75
, 5F131FA17
, 5F131FA37
