特許
J-GLOBAL ID：201003055362440926

アライメント装置及びアライメント方法並びに有機ELデバイス製造装置及び成膜装置

発明者：
弓場 賢治

弓場 賢治 について

, 
韮沢 信広

韮沢 信広 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-317969
公開番号（公開出願番号）：特開2010-138467
出願日： 2008年12月15日
公開日（公表日）： 2010年06月24日
要約：
【課題】精度よくアライメントできるアライメント装置及びアライメント方法並びにそれらを用いて高精度に蒸着できる有機ELデバイス製造装置及び成膜装置を提供することである。または、アライメントに必要な駆動部等を大気側に配置することで真空内の粉塵や発熱を低減した生産性の高い、あるいは、保守性を高めて稼働率の高い有機ELデバイス製造装置及び成膜装置を提供することである。【解決手段】シャドウマスクはアライメント用の貫通孔を有し、アライメント部は、前記貫通孔の一端側から光を入射する光源と前記他端を撮像する撮像手段とを有するアライメント光学系と、前記撮像手段の出力に基づいてアライメントを行なう制御部とを有することを特徴とする。さらに、上記特徴に加え、前記貫通孔は前記シャドウマスクの前後に貫通した孔であり、前記アライメント光学系は前記少なくとも前記基板への処理時に前記貫通孔への処理材の付着を遮蔽する遮蔽手段を有することを特徴とする。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
基板とシャドウマスクとのアライメントを行なうアライメント装置において、 前記シャドウマスクはアライメント用の貫通孔を有し、前記アライメント部は、前記貫通孔の一端側から光を入射する光源と前記他端を撮像する撮像手段とを有するアライメント光学系と、前記撮像手段の出力に基づいてアライメントを行なう制御部とを有することを特徴とするアライメント装置。
IPC (4件)：
C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
C23C14/24 G ,  H05B33/10 ,  C23C14/04 A ,  H01L21/30 510
Fターム (17件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  3K107GG33 ,  3K107GG54 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029HA04 ,  5F046EA21 ,  5F046EB10 ,  5F046ED05 ,  5F046FC10
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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