特許
J-GLOBAL ID:202003013074250872
表面をコーティングするための装置および方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2019-554394
公開番号(公開出願番号):特表2020-515407
出願日: 2018年03月29日
公開日(公表日): 2020年05月28日
要約:
本発明は、医療装置の表面を含む表面をコーティングするための装置及び方法、特に、微小突起アレイ上の微小突起のコーティングに関する。また、本発明は、微小突起アレイのような粒子を製造するための、ならびに微小突起アレイの表面をコーティングするための、プリントヘッド装置およびそれらの製造、ならびにプリントヘッド装置を使用する方法に関する。また、本発明は、本発明のプリントヘッドを利用する高処理印刷装置に関する。
請求項(抜粋):
基板をコーティングするための装置であって、
a)圧電アクチュエータと、
b)膜プレートと、
c)変形クリアランスプレートと、
d)リストリクタポンプ室と、
e)ノズルプレートとを備える装置。
IPC (8件):
B05C 5/00
, H01L 41/09
, H01L 41/053
, H01L 41/083
, B05D 1/26
, B05D 3/00
, B05C 11/00
, B05C 11/10
FI (8件):
B05C5/00 101
, H01L41/09
, H01L41/053
, H01L41/083
, B05D1/26 Z
, B05D3/00 D
, B05C11/00
, B05C11/10
Fターム (37件):
4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC71
, 4D075AC84
, 4D075AC88
, 4D075AC91
, 4D075AC93
, 4D075AC94
, 4D075BB16X
, 4D075BB18X
, 4D075CA47
, 4D075CA48
, 4D075DA07
, 4D075DA36
, 4D075DC30
, 4D075EA05
, 4D075EA07
, 4D075EB07
, 4F041AA02
, 4F041AB01
, 4F041BA01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA22
, 4F041BA34
, 4F041BA42
, 4F042AA02
, 4F042BA04
, 4F042BA06
, 4F042BA08
, 4F042BA12
, 4F042BA15
, 4F042BA19
, 4F042CB02
, 4F042CB26
, 4F042CB27
, 4F042DH09
引用特許:
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