保持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人アルファ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-183839
公開番号（公開出願番号）：特開2020-053629
出願日： 2018年09月28日
公開日（公表日）： 2020年04月02日
要約：

【課題】板状部材の表面の温度分布の制御性の低下を抑制する。【解決手段】保持装置は、第1の方向に略直交する第1の表面を有する板状部材と、ベース部材と、板状部材とベース部材とを接合する接合部とを備える。板状部材には、複数のセグメントが設定されている。複数のセグメントは、板状部材を、第1の表面の中心点を中心とする同心円状の複数の分割線によって複数の環状部分に仮想的に分割し、各環状部分を周方向に並ぶ複数の部分に仮想的に分割することにより設定される。各セグメントにはヒータ電極が配置されている。ベース部材には、冷媒流路と、端子用孔を構成する複数の貫通孔とが形成されている。各端子用孔には給電端子が配置されている。第1の方向視で、一のセグメントと重なる端子用孔は、径方向に延び、かつ、該一のセグメントを周方向に2等分する仮想中心線と重なっている。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

第1の方向に略直交する略円形の第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有する板状部材と、前記板状部材の少なくとも一部を、前記第1の方向視で、前記第1の表面の中心点を中心とする周方向に延びる同心円状の複数の分割線によって複数の環状部分に仮想的に分割し、さらに、各前記環状部分を前記周方向に並ぶ複数の部分に仮想的に分割することにより設定される複数のセグメントのそれぞれに配置され、抵抗発熱体により構成されたヒータライン部を有するヒータ電極と、第3の表面と、前記第3の表面とは反対側の第4の表面と、を有するベース部材であって、前記第3の表面が前記板状部材の前記第2の表面側に位置するように配置され、内部に冷媒流路が形成され、前記第3の表面から前記第4の表面まで貫通する複数の第1の貫通孔が形成されたベース部材と、前記板状部材の前記第2の表面と前記ベース部材の前記第3の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接合する接合部であって、前記複数の第1の貫通孔のそれぞれと連通して端子用孔を構成する複数の第2の貫通孔が形成された接合部と、各前記端子用孔内に配置され、前記ヒータ電極と電気的に接続された給電端子と、を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、前記第1の方向視で、一の前記セグメントと重なる前記端子用孔は、前記第1の表面の前記中心点を通る径方向に延び、かつ、前記一のセグメントを前記周方向に2等分する仮想直線である仮想中心線と重なっている、ことを特徴とする保持装置。

IPC (4件)：

H01L 21/683 , H05B 3/02 , H05B 3/03 , H05B 3/74

FI (5件)：

H01L21/68 N , H01L21/68 R , H05B3/02 B , H05B3/03 , H05B3/74

Fターム (17件)：

3K092PP20 , 3K092QB45 , 3K092QC42 , 3K092QC43 , 3K092VV22 , 5F131CA03 , 5F131EA03 , 5F131EB01 , 5F131EB11 , 5F131EB14 , 5F131EB17 , 5F131EB78 , 5F131EB79 , 5F131EB81 , 5F131EB82 , 5F131JA14 , 5F131KA23

引用特許：

出願人引用 (5件)

セラミックヒータ及び静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-085931 出願人：日本特殊陶業株式会社
加熱部材及び静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2016-037401 出願人：日本特殊陶業株式会社
積層発熱体
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-013341 出願人：日本特殊陶業株式会社

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審査官引用 (5件)

セラミックヒータ及び静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-085931 出願人：日本特殊陶業株式会社
加熱部材及び静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2016-037401 出願人：日本特殊陶業株式会社
積層発熱体
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-013341 出願人：日本特殊陶業株式会社

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