特許
J-GLOBAL ID：201603020475456094

静電チャック装置

発明者：
早原 竜二

早原 竜二 について

, 
金原 勇貴

金原 勇貴 について


出願人/特許権者：
住友大阪セメント株式会社

住友大阪セメント株式会社 について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  鈴木 三義 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-003201
公開番号（公開出願番号）：特開2016-129183
出願日： 2015年01月09日
公開日（公表日）： 2016年07月14日
要約：
【課題】ウエハの面内温度差を低減させることが可能な新規な構造の静電チャック装置を提供する。【解決手段】一主面に板状試料を載置する載置面を有するとともに静電吸着用電極を備えた静電チャック部と、静電チャック部に対し載置面とは反対側に配置され静電チャック部を冷却する温度調節用ベース部と、静電チャック部と温度調節用ベース部との間、または静電チャック部の内部に層状に配置されたヒータ50Aと、を備え、温度調節用ベース部は、厚み方向に貫通する複数の貫通孔を有し、ヒータ50Aは、円形領域に配置される帯状の部材であり、円弧状を呈し平面視で円形領域の周方向に延在する複数の第1部材51Aと、円形領域の径方向に延在し2つの第1部材51Aを接続する第2部材52Aと、を有し、ヒータ50Aのうち設置孔21と平面的に重なる第2部材52Aは、第1部材51Aよりも幅広く設けられている静電チャック装置。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
一主面に板状試料を載置する載置面を有するとともに静電吸着用電極を備えた静電チャック部と、 前記静電チャック部に対し前記載置面とは反対側に配置され前記静電チャック部を冷却する温度調節用ベース部と、 前記静電チャック部と前記温度調節用ベース部との間、または静電チャック部の内部に層状に配置されたヒータエレメントと、を備え、 前記温度調節用ベース部は、厚み方向に貫通する複数の貫通孔を有し、 前記ヒータエレメントは、円形領域に配置される帯状の部材であり、円弧状を呈し平面視で前記円形領域の周方向に延在する複数の第1部材と、前記円形領域の径方向に延在し2つの前記第1部材を接続する第2部材と、を有し、 前記ヒータエレメントのうち第1の貫通孔と平面的に重なる前記第2部材は、前記第1部材よりも幅広く設けられている静電チャック装置。
IPC (4件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/31 ,  H02N 13/00
FI (4件)：
H01L21/68 R ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/31 F ,  H02N13/00 D
Fターム (24件)：
5F004AA01 ,  5F004BB22 ,  5F004BB25 ,  5F004BB26 ,  5F045BB02 ,  5F045EJ03 ,  5F045EM05 ,  5F131AA02 ,  5F131BA04 ,  5F131BA19 ,  5F131CA03 ,  5F131EA03 ,  5F131EB14 ,  5F131EB17 ,  5F131EB54 ,  5F131EB72 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82 ,  5F131EB84 ,  5F131KA03 ,  5F131KA23 ,  5F131KA54
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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