特許
J-GLOBAL ID：202003015140848825
フッ素含有有機溶剤の回収装置および基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
永井 浩之
, 中村 行孝
, 佐藤 泰和
, 朝倉 悟
, 森 秀行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-104653
公開番号（公開出願番号）：特開2017-212341
特許番号：特許第6668166号
出願日： 2016年05月25日
公開日（公表日）： 2017年11月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 フッ素含有有機溶剤を収納するとともに、前記フッ素含有有機溶剤を前記フッ素含有有機溶剤より比重の軽い水から形成された水層で覆った回収タンクと、
前記回収タンク内に前記フッ素含有有機溶剤を供給する供給ノズルとを備え、
前記供給ノズルはその下端が常に前記フッ素含有有機溶剤と前記水層との間の界面よりも上方の前記水層中に位置するよう構成され、前記供給ノズルは前記回収タンク内で上下方向に移動可能となっており、
前記水層上に浮き子が設けられ、前記供給ノズルは前記浮き子に取付けられ、前記供給ノズルの上流側に柔軟チューブが接続され、前記浮き子の上下方向の移動に伴って、前記柔軟チューブにより前記供給ノズルはその姿勢を維持しながら、上下方向に移動する、フッ素含有有機溶剤の回収装置。
IPC (1件)：
FI (3件)：
H01L 21/304 648 K
, H01L 21/304 643 A
, H01L 21/304 651 Z
